[發明專利]一種晶元倒角機及其晶元加工方法

無效

• 申請號: 201110357552.4
• 申請日: 2011-11-10
• 公開（公告）號: CN102501151A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 楊心宏
• 申請（專利權）人: 楊心宏
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B51/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶元倒角機，其特征在于：所述晶元倒角機包括機架、數據處理系統和用于對晶元加工的數控裝置；

所述數控裝置包括倒角工作端部；

所述數據處理系統包括數據輸入單元，數據處理單元和數據輸出單元；

所述數據輸出單元與所述數控裝置連接，用于向所述數控裝置輸入數據；

所述數控裝置用于控制所述倒角工作端部對晶元進行倒角。

2.根據權利要求1所述的一種晶元倒角機，其特征在于：所述晶元倒角機還設置有真空排管、內部設置有腔體的底板、用于承載晶元的模具；

所述底板設置在所述機架上，所述模具設置在底板上；所述真空排管順次穿過底板與所述腔體連通。

3.根據權利要求2所述的一種晶元倒角機，其特征在于：所述數控裝置設置有用于自動對焦至待加工晶元加工部的光學對位系統。

4.根據權利要求3所述的一種晶元倒角機，其特征在于：所述數控裝置設置有電動軸，所述電動軸帶動所述倒角工作端旋轉對晶元進行倒角。

5.根據權利要求3所述的一種晶元倒角機，其特征在于：所述晶元倒角機還包括用于自動跟隨所述倒角工作端部噴灑冷卻液的噴嘴。

6.根據權利要求3所述的一種晶元倒角機，其特征在于：所述數據處理系統還包括存儲管理功能模塊。

7.一種采用權利要求1所述的晶元倒角機的晶元加工方法，其加工方法步驟如下：

步驟A：錄入和保存晶元數據信息；

步驟B：設置晶元中心點位置；

步驟C：將晶元放至模具上方，進行真空排氣固定晶元；

步驟D：啟動數控裝置；

步驟E：工作完畢取出晶元，并放入下一塊晶元；

步驟F：重載晶元信息，并重復上述步驟B至步驟E；

步驟G：工作完成，退出。