[發(fā)明專利]一種基板銅面的化學清洗方法

無效

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• 申請日: 2011-11-09
• 公開（公告）號: CN102510669A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設計）人: 羅建軍
• 申請（專利權）人: 金悅通電子（翁源）有限公司
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00;H05K3/26;C23F1/46
• 代理公司: 廣州新諾專利商標事務所有限公司 44100
• 代理人: 華輝

技術領域

本發(fā)明屬于基板加工技術領域，具體涉及一種基板銅面的化學清洗方法。

背景技術

為了去除銅表面的油污、指印及其它有機污物、以及粗化銅表面以增大感光材料與銅面的接觸面積和增加粘附性能，需要對基板銅面進行化學清洗。

目前，基板銅面的化學清洗過程如下：

入料→除油→第一次溢流水洗→微蝕→第二次溢流水洗→烘干→出料。

其中，微蝕過程需要用到大量的微蝕液，所述微蝕液包括雙氧水、硫酸、以及微蝕穩(wěn)定劑。然而，微蝕液作為一種主要用料其使用壽命很短，通常要求一周更換一次。

更換出來的廢液中包含了大量的硫酸銅、以及未曾用完的雙氧水和硫酸溶液。對于更換出來的微蝕廢液，傳統(tǒng)的處理方法是生產(chǎn)企業(yè)將其售賣給回收公司，回收公司以其為原料生產(chǎn)硫酸銅產(chǎn)品。但是，廢液中包含的大量雙氧水、硫酸得不到有效利用，造成資源浪費，并且不能產(chǎn)生效益。

由上可知，頻繁更換微蝕液，將造成大量雙氧水和硫酸的浪費，不僅使得生產(chǎn)成本提高，而且還不環(huán)保。

經(jīng)過申請人仔細研究分析知，微蝕液使用壽命短的主要原因有兩個：

1、溢流水洗采用的是自來水，在第一次溢流水洗后基板表面將附著很多自來水，自來水中包含的氯離子成分易污染微蝕液造成炸缸，影響對板面的清潔與粗化效果。其化學反應式：H₂SO₄+H₂O₂+Cu+2HCL＝CuSO₄+2H₂O₂+CL2。

2、微蝕過程中基板上的銅將大量消耗硫酸和雙氧水得到硫酸銅，從而進一步降低微蝕液的蝕刻性能。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種基板銅面的化學清洗方法以延長微蝕液的使用壽命和回收硫酸銅。

為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明所采用技術方案如下：

一種基板銅面的化學清洗方法，包括除油步驟、第一次溢流水洗步驟、微蝕步驟、第二次溢流水洗步驟、以及烘干步驟。為了降低自來水中氯離子對微蝕液的污染，在所述第一次溢流水洗步驟和微蝕步驟之間增加一除水步驟；為了進一步保障微蝕液的有效性，在所述微蝕步驟的微蝕過程中不斷回收硫酸銅，并根據(jù)微蝕液中各種成分的濃度變化補充微蝕液。

所述基板銅面的化學清洗方法中，在所述第一次溢流水洗步驟和微蝕步驟之間增加一除水步驟，具體是：

在微蝕缸與第一溢流水洗間擋水轆間增加一組吸水海棉以完成除水動作。

所述基板銅面的化學清洗方法中，在所述微蝕步驟的微蝕過程中不斷回收硫酸銅，具體是：

在微蝕缸上連接一臺硫酸銅回收機，所述硫酸銅回收機抽取微蝕缸中的微蝕液后通過低溫萃取硫酸銅，并將余液回流至微蝕缸。

所述基板銅面的化學清洗方法中，所述微蝕步驟的溫度是35-39℃、所述微蝕步驟的速度是1.8-2.8米每分鐘、所述微蝕步驟的壓力是1-2千克每平方厘米。

進一步優(yōu)選的，所述微蝕步驟的溫度是37℃、所述微蝕步驟的速度是2.3米每分鐘、所述微蝕步驟的壓力是2.5千克每平方厘米。

所述基板銅面的化學清洗方法中，所述微蝕步驟中根據(jù)微蝕液中各種成分的濃度變化補充微蝕液，具體是：如微蝕液中的硫酸濃度小于220克每升，則添加硫酸使其濃度達到220-270克每升；如微蝕液中的雙氧水濃度小于8克每升，則添加雙氧水使其濃度達到8-20克每升；如微蝕液中的微蝕穩(wěn)定劑濃度小于8％，則添加微蝕穩(wěn)定劑使其濃度達到8-10％。

進一步優(yōu)選的，如微蝕液中的硫酸濃度小于220克每升，則添加硫酸使其濃度達到245克每升、如微蝕液中的雙氧水濃度小于8克每升，則添加雙氧水使其濃度達到14克每升、如微蝕液中的微蝕穩(wěn)定劑濃度小于8％，則添加微蝕穩(wěn)定劑使其濃度達到9％。

本發(fā)明通過在微蝕之前除水、不斷回收硫酸銅、以及補充微蝕液，從而使得微蝕液使用壽命可長達6個月(即可長達6個月才更換一次微蝕缸中的微蝕液)，而且通過硫酸銅的回收，大大降低了生產(chǎn)成本，增加了企業(yè)效益。

附圖說明

此附圖說明所提供的圖片用來輔助對本發(fā)明的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本發(fā)明的不當限定，在附圖中：

圖1為本發(fā)明硫酸銅回收與微蝕液補充示意圖。

具體實施方式

下面將結合具體實施方法來詳細說明本發(fā)明，在本發(fā)明的示意性實施及說明用來解釋本發(fā)明，但并不作為對本發(fā)明的限定。

實施例1：