[發明專利]集成傳感器的測試方法及其測試系統

有效

• 申請號: 201110350115.X
• 申請日: 2011-11-08
• 公開（公告）號: CN103090900A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 劉海東;顧浩琦;丁雪龍
• 申請（專利權）人: 美新半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01D18/00
• 分類號: G01D18/00
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

技術領域

本發明涉及一種集成傳感器的測試方法及其測試系統，尤其是，一種集成磁傳感器和加速度傳感器的集成傳感器的測試方法及其測試系統。

背景技術

隨著消費類電子功能的日益擴展，傳感器的應用逐步普及，并且傳感器中的磁傳感器和加速度傳感器已經逐漸成為一些手持類電子產品的標配。而隨著傳感器運用的不斷開發以及集成化的要求，集成加速度傳感器和磁傳感器的新型傳感器也已經面世。其中集成化技術最高的集成傳感器，為集成了三軸磁傳感器和加速度傳感器的集成傳感器，現已被應用到實際的需求當中。

這種新型的集成傳感器，由于其整合了加速度和磁傳感器的特性，在其測試過程，則需要針對加速度和磁這兩個特性分別進行測試，這樣在測試設備方面，就需要兩種不同的測試設備和測試方法，對集成傳感器的磁傳感器和加速度傳感器，分別進行測試。當集成傳感器其中的一種傳感器測試完畢后，在將其取出放置到另一個測試機中，進行另一類型的傳感器測試。

很顯然，目前業界所采用的這種測試方式，不但提高了測試的復雜度，降低了測試效率，而且也在一定程度上增加了測試的成本，不利于新產品的推廣與運用。

因此，確有必要提供一種新型的集成傳感器的測試方法來克服現有技術中的缺陷。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，現有集成傳感器的測試方式成本高、效率低。本發明提供一種集成傳感器的測試方法，其利用測試電路在地球磁場和重力場中的不同表現來進行集成傳感器的測試，有效的降低了測試成本，并且還極大的提高了測試效率。

為了解決上述技術問題，本發明所提出的技術方案是：

一種集成傳感器的測試方法，其中所述集成傳感器包括磁傳感器和加速度傳感器，其包括以下步驟：

將待測集成傳感器接入測試裝置的接口上，調整其磁傳感器的X軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于磁傳感器X軸的測試輸出MX1；

旋轉待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MX2；

根據待測磁傳感器的X軸的測試輸出MX1和MX2，計算待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；

調整待測集成傳感器的位置，使得其加速度傳感器的X軸與重力場方向平行，讀出測試裝置對于加速度傳感器X軸的測試輸出AX1；

旋轉待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AX2；

根據待測加速度傳感器X軸的測試輸出AX1和AX2，計算待測加速度傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。

進一步的，在不同實施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的磁傳感器Y軸的步驟，其包括：

使用標準電路校準測試裝置接口的Y軸磁場測試參數；

調整所述磁傳感器Y軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器Y軸的測試輸出MY1；

旋轉待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MY2；

根據待測磁傳感器的輸出MY1和MY2，計算待測磁傳感器Y軸的偏置輸出和/或靈敏度。

進一步的，在不同實施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的磁傳感器Z軸的步驟，其包括：

使用標準電路校準測試裝置接口的Z軸磁場測試參數；

調整所述磁傳感器Z軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器Z軸的測試輸出MZ1；

旋轉待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MZ2；

根據待測磁傳感器的輸出MZ1和MZ2，計算待測磁傳感器Z軸的偏置輸出和/或靈敏度。

進一步的，在不同實施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的加速度傳感器Y軸的步驟，其包括：

調整所述待測加速度傳感器的Y軸與重力場方向平行，讀出測試裝置對于所述加速度傳感器Y軸的測試輸出AY1；

旋轉待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AY2；

根據待測加速度傳感器Y軸的測試輸出AY1和AY2，計算待測加速度傳感器Y軸的偏置輸出和/或靈敏度。

進一步的，在不同實施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的加速度傳感器Z軸的步驟，其包括：

調整所述待測加速度傳感器的Z軸與重力場方向平行，讀出此時測試裝置對于所述加速度傳感器Z軸的測試輸出AZ1；

旋轉待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AZ2；

根據待測加速度傳感器Z軸的測試輸出AZ1和AZ2，計算待測加速度傳感器Z軸的偏置輸出和/或靈敏度。