[發明專利]集成傳感器的測試方法及其測試系統

有效

• 申請號: 201110350115.X
• 申請日: 2011-11-08
• 公開（公告）號: CN103090900A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 劉海東;顧浩琦;丁雪龍
• 申請（專利權）人: 美新半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G01D18/00
• 分類號: G01D18/00
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

1.一種集成傳感器的測試方法，其中所述集成傳感器包括磁傳感器和加速度傳感器，其特征在于：其包括以下步驟：

將測試裝置的X軸與當地磁場的磁力線平行；

使用標準電路校準測試裝置接口的X軸測試參數；

將待測集成傳感器接入測試裝置的接口上，調整其磁傳感器的X軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器X軸的測試輸出MX1；

旋轉待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MX2；

根據待測磁傳感器的X軸的測試輸出MX1和MX2，計算待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；

調整待測集成傳感器的位置，使得其加速度傳感器的X軸與重力場方向平行，讀出此時測試裝置對于所述加速度傳感器X軸的測試輸出AX1；

旋轉待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AX2；

根據待測加速度傳感器X軸的測試輸出AX1和AX2，計算待測加速度傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。

2.根據權利要求1所述的測試方法，其特征在于：其還包括測試待測集成傳感器中的磁傳感器Y軸的步驟，其包括：

使用標準電路校準測試裝置接口的Y軸磁場測試參數；

調整所述磁傳感器Y軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器Y軸的測試輸出MY1；

旋轉待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MY2；

根據待測磁傳感器的輸出MY1和MY2，計算待測磁傳感器Y軸的偏置輸出和/或靈敏度。

3.根據權利要求2所述的測試方法，其特征在于：其還包括測試待測集成傳感器中的磁傳感器Z軸的步驟，其包括：

使用標準電路校準測試裝置接口的Z軸磁場測試參數；

調整所述磁傳感器Z軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器Z軸的測試輸出MZ1；

旋轉待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MZ2；

根據待測磁傳感器的輸出MZ1和MZ2，計算待測磁傳感器Z軸的偏置輸出和/或靈敏度。

4.根據權利要求1所述的測試方法，其特征在于：其還包括測試待測集成傳感器中的加速度傳感器Y軸的步驟，其包括：

調整所述待測加速度傳感器的Y軸與重力場方向平行，讀出此時測試裝置對于所述加速度傳感器Y軸的測試輸出AY1；

旋轉待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AY2；

根據待測加速度傳感器Y軸的測試輸出AY1和AY2，計算待測加速度傳感器Y軸的偏置輸出和/或靈敏度。

5.根據權利要求4所述的測試方法，其特征在于：其還包括測試待測集成傳感器中的加速度傳感器Z軸的步驟，其包括：

調整所述待測加速度傳感器的Z軸與重力場方向平行，讀出此時測試裝置對于所述加速度傳感器Z軸的測試輸出AZ1；

旋轉待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AZ2；

根據待測加速度傳感器Z軸的測試輸出AZ1和AZ2，計算待測加速度傳感器Z軸的偏置輸出和/或靈敏度。

6.根據權利要求3所述的測試方法，其特征在于：其中涉及使用的計算待測集成傳感器中的磁傳感器各軸偏置輸出的公式包括以下公式中的至少一個：X偏置輸出＝(MX1+MX2)/2；Y偏置輸出＝(MY1+MY2)/2；以及Z偏置輸出＝(MZ1+MZ2)/2；以及，其中涉及使用的計算待測集成傳感器中的磁傳感器各軸靈敏度的公式包括以下公式中的至少一個：X靈敏度＝(MX1-MX2)/2/該位置X補償系數；Y靈敏度＝(MY1-MY2)/2/該位置Y補償系數；以及Z靈敏度＝(MZ1-MZ2)/2/該位置Z補償系數。

7.根據權利要求5所述的測試方法，其特征在于：其中涉及使用的計算待測集成傳感器中的加速度傳感器各軸偏置輸出的公式包括以下公式中的至少一個：X偏置輸出＝(AX1+AX2)/2；Y偏置輸出＝(AY1+AY2)/2；以及Z偏置輸出＝(AZ1+AZ2)/2；以及，其中涉及使用的計算待測集成傳感器中的磁傳感器各軸靈敏度的公式包括以下公式中的至少一個：X靈敏度＝(AX1-AX2)/2/該位置X補償系數；Y靈敏度＝(AY1-AY2)/2/該位置Y補償系數；以及Z靈敏度＝(AZ1-AZ2)/2/該位置Z補償系數。