[發(fā)明專利]感光性樹(shù)脂組合物、感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110349459.9
• 申請(qǐng)日: 2007-09-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102393604A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 味岡芳樹(shù);小柳浩二;渡邊滿明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日立化成工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/027
• 分類號(hào): G03F7/027;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/00;H05K3/06;H05K3/18
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;陳彥

本申請(qǐng)是原申請(qǐng)、申請(qǐng)日為2007年9月10日，申請(qǐng)?zhí)枮?00780032798.6，發(fā)明名稱為“感光性樹(shù)脂組合物、感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法”的中國(guó)專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及感光性樹(shù)脂組合物、感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法。

背景技術(shù)

以往在印刷電路板的制造領(lǐng)域中，如下的感光性元件被人們熟知，該感光性元件通過(guò)在支持膜上形成作為用于蝕刻或鍍覆等的抗蝕劑材料的感光性樹(shù)脂組合物或者包含該感光性樹(shù)脂組合物的感光性樹(shù)脂組合物層，并用保護(hù)膜覆蓋感光性樹(shù)脂組合物層來(lái)獲得。

使用感光性元件的情況，印刷電路板例如可以如下進(jìn)行制造。首先，在電路形成用基板上層壓感光性元件的感光性樹(shù)脂組合物層。此時(shí)，感光性樹(shù)脂組合物層的與接觸支持膜的面相反側(cè)的面密合于電路形成用基板的應(yīng)形成電路的面。因此，在剝離保護(hù)膜的同時(shí)進(jìn)行。接著，通過(guò)膜狀掩模等曝光成圖像狀(圖案狀)后，用顯影液除去未曝光部，形成抗蝕圖。接著，以該抗蝕圖為掩模實(shí)施蝕刻或鍍覆處理而形成電路圖案，最終從基板上剝離除去固化部分。

在這種印刷電路板的制造方法中，作為除去感光性元件的未曝光部的顯影液，通常只要在一定程度上具有溶解或分散感光性樹(shù)脂組合物層的能力就可以使用。從環(huán)境性和安全性的角度考慮，使用碳酸鈉水溶液或碳酸氫鈉水溶液等的堿顯影液現(xiàn)在正成為主流。使用的感光性樹(shù)脂組合物要求優(yōu)異的隆起可靠性，即在曝光后不會(huì)被顯影液或水洗的噴射壓力破壞的隆起性。作為該隆起可靠性優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物提出了包含雙官能或三官能單體的感光性樹(shù)脂組合物(參照例如專利文獻(xiàn)1～5)。

專利文獻(xiàn)1：國(guó)際公開(kāi)第01/092958號(hào)小冊(cè)子

專利文獻(xiàn)2：特開(kāi)2000-214583號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：特許第3251446號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：特開(kāi)2005-31639號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)5：特許第3199600號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

然而，對(duì)于包含雙官能單體的感光性樹(shù)脂組合物，隆起可靠性不一定充分；并且，對(duì)于包含三官能單體的感光性樹(shù)脂組合物，得到的固化膜往往硬而脆。

本發(fā)明鑒于上述情況而完成，其目的在于提供可以形成具有充分的機(jī)械強(qiáng)度和柔軟性的固化膜、隆起可靠性足夠優(yōu)異的感光性樹(shù)脂組合物以及使用該組合物的感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法。

本發(fā)明提供一種感光性樹(shù)脂組合物，該組合物為含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹(shù)脂組合物，(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物。

[化1]

在此，R¹和R²分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，L¹和L²分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，m和n分別獨(dú)立地表示以m和n的總和為0～50的方式選擇的0～50的整數(shù)。

本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中，將上述(A)、(B)和(C)成分作為必要成分，且(B)成分包含具有由上述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物，由此可以形成具有充分的機(jī)械強(qiáng)度和柔軟性的固化膜，能夠?qū)崿F(xiàn)足夠優(yōu)異的隆起可靠性。在此，得到上述效果的原因不一定明確，本發(fā)明人推測(cè)是由上述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的存在產(chǎn)生了影響。但是，主要原因并不限于此。

具有由上述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物優(yōu)選為由下述通式(2)表示的光聚合性化合物。

[化2]

在此，R¹、R²和R³分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，L¹和L²分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，Z表示單鍵或2價(jià)有機(jī)基團(tuán)，m和n分別獨(dú)立地表示以m和n的總和為0～50的方式選擇的0～50的整數(shù)。

這種感光性樹(shù)脂組合物可以形成機(jī)械強(qiáng)度和柔軟性更優(yōu)異的固化膜，能夠進(jìn)一步提高隆起可靠性。

上述通式(2)中，Z優(yōu)選為由下述通式(3)或(4)表示的2價(jià)有機(jī)基團(tuán)。

[化3]

在此，R⁴表示氫原子或甲基，L³表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，p表示0～25的整數(shù)。

[化4]