[發(fā)明專利]感光性樹脂組合物、感光性元件、抗蝕圖的形成方法及印刷電路板的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110349459.9
• 申請日: 2007-09-10
• 公開（公告）號: CN102393604A
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 味岡芳樹;小柳浩二;渡邊滿明
• 申請（專利權(quán)）人: 日立化成工業(yè)株式會社
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004;G03F7/09;G03F7/00;H05K3/06;H05K3/18
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;陳彥

1.一種感光性樹脂組合物，該組合物為含有(A)粘合劑聚合物、(B)具有乙烯性不飽和鍵的光聚合性化合物及(C)光聚合引發(fā)劑的感光性樹脂組合物，所述(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物；

式(1)中，R¹和R²分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，L¹和L²分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，m和n分別獨(dú)立地表示以m和n的總和為0～50的方式選擇的0～50的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，具有由所述通式(1)表示的有機(jī)基團(tuán)的光聚合性化合物為由下述通式(2)表示的光聚合性化合物；

式(2)中，R¹、R²和R³分別獨(dú)立地表示氫原子或甲基，L¹和L²分別獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，Z表示單鍵或2價有機(jī)基團(tuán)，m和n分別獨(dú)立地表示以m和n的總和為0～50的方式選擇的0～50的整數(shù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述Z為由下述通式(3)或(4)表示的2價有機(jī)基團(tuán)；

式(3)中，R⁴表示氫原子或甲基，L³表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，p表示0～25的整數(shù)；

式(4)中，L⁴表示碳原子數(shù)1～6的亞烷基，r表示1～25的整數(shù)，s表示0～25的整數(shù)。

4.一種感光性元件，具有支持膜以及形成在該支持膜上的包含權(quán)利要求1～3中任意一項所述的感光性樹脂組合物的感光性樹脂組合物層。

5.一種抗蝕圖的形成方法，在電路形成用基板上層疊權(quán)利要求4所述的感光性元件的感光性樹脂組合物層，對該感光性樹脂組合物層以圖像狀照射活性光線而使曝光部發(fā)生光固化，然后除去曝光部以外的部分。

6.一種印刷電路板的制造方法，包括如下工序：對于通過權(quán)利要求5所述的抗蝕圖的形成方法形成了抗蝕圖的電路形成用基板進(jìn)行蝕刻或鍍覆而形成電路圖案。