[發(fā)明專利]光刻參數(shù)的修正方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110348440.2
• 申請(qǐng)日: 2011-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN103091996A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許宗能;蔡建祥;周瑋;楊兆宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

【技術(shù)領(lǐng)域】

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造方法及系統(tǒng)，尤其涉及一種光刻參數(shù)的修正方法及系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】

目前，半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行光刻時(shí)，多個(gè)進(jìn)行其他工藝的機(jī)臺(tái)在完成對(duì)應(yīng)的工藝后，將多批產(chǎn)品送至光刻機(jī)上進(jìn)行光刻。光刻時(shí)，為維持產(chǎn)品批與批之間的穩(wěn)定性，大都采用RTR(RUN-TO-RUN)控制系統(tǒng)來修正進(jìn)行光刻的黃光參數(shù)，保證產(chǎn)品批次之間的穩(wěn)定性。

RTR控制系統(tǒng)收集光刻機(jī)已完成的前幾批產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，根據(jù)這些數(shù)據(jù)獲取光刻機(jī)的光刻參數(shù)修正值(光刻機(jī)黃光參數(shù)的修正值)，并交與光刻機(jī)，對(duì)當(dāng)前及以后批次產(chǎn)品進(jìn)行修正，控制光刻機(jī)本身的漂移，維持生產(chǎn)線的穩(wěn)定度。但是，當(dāng)前光刻機(jī)已完成批次產(chǎn)品由多個(gè)其他工藝的機(jī)臺(tái)輸送，由于多個(gè)其他工藝的機(jī)臺(tái)之間存在較大的差異，在完成相應(yīng)工藝后產(chǎn)品差異較大，產(chǎn)品再進(jìn)行光刻時(shí)會(huì)對(duì)黃光參數(shù)造成較大偏差，光刻后產(chǎn)品數(shù)據(jù)差異也較大，從而使得RTR控制系統(tǒng)根據(jù)已完成批次產(chǎn)品的數(shù)據(jù)獲得的修正值誤差較大，不能準(zhǔn)確的對(duì)當(dāng)前及以后批次產(chǎn)品進(jìn)行修正，使得產(chǎn)品修正的不準(zhǔn)確，造成大量的光阻返工問題，光阻返工率大大提高，消耗大量的人力和材料的浪費(fèi)，產(chǎn)品出貨時(shí)間推遲，也降低了光刻機(jī)的利用率。

【發(fā)明內(nèi)容】

有鑒于此，有必要提供一種降低產(chǎn)品光阻返工率的光刻參數(shù)修正方法。

此外，還有必要提供一種降低產(chǎn)品光阻返工率的光刻參數(shù)修正系統(tǒng)。

一種光刻參數(shù)修正方法，包括如下步驟：

多個(gè)機(jī)臺(tái)將產(chǎn)品輸送至光刻機(jī)進(jìn)行處理；

于光刻機(jī)已處理批次產(chǎn)品中，分別收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)；

根據(jù)收集的各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，分別獲取各個(gè)機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值，每個(gè)機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值僅根據(jù)該機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)獲取；

根據(jù)光刻機(jī)當(dāng)前批次產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)，將機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值交予光刻機(jī)，修正光刻參數(shù)，修正后光刻機(jī)對(duì)當(dāng)前批次產(chǎn)品進(jìn)行處理。

優(yōu)選的，所述于光刻機(jī)已處理批次產(chǎn)品中分別收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)的步驟具體為：對(duì)各個(gè)機(jī)臺(tái)設(shè)置代號(hào)，各個(gè)機(jī)臺(tái)輸送產(chǎn)品至光刻機(jī)時(shí)，獲取代號(hào)，以確定已處理批次產(chǎn)品與各個(gè)機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，根據(jù)已處理批次產(chǎn)品與機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，按代號(hào)分別收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)。

優(yōu)選的，所述于光刻機(jī)已處理批次產(chǎn)品中，分別收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)的步驟具體為：分別收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送的前五批產(chǎn)品的數(shù)據(jù)。

優(yōu)選的，所述根據(jù)收集的各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，分別獲取各個(gè)機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值的步驟具體為：根據(jù)收集的各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，計(jì)算各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品數(shù)據(jù)的平均值，并根據(jù)各個(gè)機(jī)臺(tái)產(chǎn)品數(shù)據(jù)的平均值，獲取各個(gè)機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值。

優(yōu)選的，所述根據(jù)光刻機(jī)當(dāng)前批次產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)，將機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值交予光刻機(jī)，修正光刻參數(shù)，修正后光刻機(jī)對(duì)當(dāng)前批次產(chǎn)品進(jìn)行處理的步驟具體為：在機(jī)臺(tái)輸送當(dāng)前批次產(chǎn)品至光刻機(jī)時(shí)，獲取機(jī)臺(tái)代號(hào)，獲取當(dāng)前批次產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)；根據(jù)對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)，將機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值交予光刻機(jī)，修正光刻機(jī)的光刻參數(shù)。

一種光刻參數(shù)修正系統(tǒng)，包括：

收集模塊，用于收集光刻機(jī)已完成批次產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，已完成批次產(chǎn)品由多個(gè)機(jī)臺(tái)輸送至光刻機(jī)；

控制模塊，用于控制所述收集模塊于光刻機(jī)已處理批次產(chǎn)品中分別收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)；

修正模塊，根據(jù)收集的各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，獲取各個(gè)機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值，每個(gè)機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值僅根據(jù)該機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)獲??；

控制模塊根據(jù)光刻機(jī)當(dāng)前批次產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)，控制修正模塊將機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值交予光刻機(jī)，修正光刻參數(shù)，修正后光刻機(jī)對(duì)當(dāng)前批次產(chǎn)品進(jìn)行處理。

優(yōu)選的，所述控制模塊對(duì)各個(gè)機(jī)臺(tái)設(shè)置代號(hào)并存儲(chǔ)各個(gè)機(jī)臺(tái)的代號(hào)，各個(gè)機(jī)臺(tái)輸送產(chǎn)品至光刻機(jī)時(shí)，所述控制模塊獲取代號(hào)，以確定已處理批次產(chǎn)品與各個(gè)機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，所述控制模塊根據(jù)已處理批次產(chǎn)品與機(jī)臺(tái)的對(duì)應(yīng)關(guān)系，控制所述收集模塊按代號(hào)分別收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)。

優(yōu)選的，所述控制模塊控制所述收集模塊收集各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送的前五批產(chǎn)品的數(shù)據(jù)。

優(yōu)選的，所述修正模塊根據(jù)收集的各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品的數(shù)據(jù)，計(jì)算各個(gè)機(jī)臺(tái)所輸送產(chǎn)品數(shù)據(jù)的平均值，并根據(jù)各個(gè)機(jī)臺(tái)產(chǎn)品數(shù)據(jù)的平均值，獲取各個(gè)機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值。

優(yōu)選的，所述控制模塊在機(jī)臺(tái)輸送當(dāng)前批次產(chǎn)品至光刻機(jī)時(shí)，獲取機(jī)臺(tái)代號(hào)，獲取當(dāng)前批次產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的機(jī)臺(tái)，控制所述修正模塊將機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的修正值交予光刻機(jī)，修正光刻機(jī)的黃光參數(shù)。