[發明專利]光刻參數的修正方法及系統

有效

• 申請號: 201110348440.2
• 申請日: 2011-11-07
• 公開（公告）號: CN103091996A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 許宗能;蔡建祥;周瑋;楊兆宇
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

1.一種光刻參數修正方法，包括如下步驟：

多個機臺將產品輸送至光刻機進行處理；

于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據；

根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，分別獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取；

根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。

2.根據權利要求1所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據的步驟具體為：對各個機臺設置代號，各個機臺輸送產品至光刻機時，獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，根據已處理批次產品與機臺的對應關系，按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。

3.根據權利要求2所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述于光刻機已處理批次產品中，分別收集各個機臺所輸送產品的數據的步驟具體為：分別收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。

4.根據權利要求2所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，分別獲取各個機臺對應的修正值的步驟具體為：根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺所輸送產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。

5.根據權利要求2所述的光刻參數修正方法，其特征在于，所述根據光刻機當前批次產品對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理的步驟具體為：在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺；根據對應的機臺，將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的光刻參數。

6.一種光刻參數修正系統，其特征在于，包括：

收集模塊，用于收集光刻機已完成批次產品的數據，已完成批次產品由多個機臺輸送至光刻機；

控制模塊，用于控制所述收集模塊于光刻機已處理批次產品中分別收集各個機臺所輸送產品的數據；

修正模塊，根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，獲取各個機臺對應的修正值，每個機臺對應的修正值僅根據該機臺所輸送產品的數據獲取；

控制模塊根據光刻機當前批次產品對應的機臺，控制修正模塊將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻參數，修正后光刻機對當前批次產品進行處理。

7.根據權利要求6所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述控制模塊對各個機臺設置代號并存儲各個機臺的代號，各個機臺輸送產品至光刻機時，所述控制模塊獲取代號，以確定已處理批次產品與各個機臺的對應關系，所述控制模塊根據已處理批次產品與機臺的對應關系，控制所述收集模塊按代號分別收集各個機臺所輸送產品的數據。

8.根據權利要求7所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述控制模塊控制所述收集模塊收集各個機臺所輸送的前五批產品的數據。

9.根據權利要求7所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述修正模塊根據收集的各個機臺所輸送產品的數據，計算各個機臺所輸送產品數據的平均值，并根據各個機臺產品數據的平均值，獲取各個機臺對應的修正值。

10.根據權利要求7所述的光刻參數修正系統，其特征在于，所述控制模塊在機臺輸送當前批次產品至光刻機時，獲取機臺代號，獲取當前批次產品對應的機臺，控制所述修正模塊將機臺對應的修正值交予光刻機，修正光刻機的黃光參數。