[發明專利]一種多晶硅料的清洗工藝無效
| 申請號： | 201110348132.X | 申請日： | 2011-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN102502652A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發明（設計）人： | 黃賢橫 | 申請（專利權）人： | 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/037 | 分類號： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332005 江西省九江*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 清洗 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.?一種多晶硅料的清洗工藝，其特征在于，包括：
（1）將多晶硅料用純水洗凈，然后置入硝酸和氫氟酸的混合液中清洗，硝酸和氫氟酸的混合液比例為4.5-9L:1-5L，時間30s—50s；
（2）撈出浸入純水中；
（3）再置入第二道混合液中清洗，硝酸和氫氟酸的混合液比例為9-15L:1-5L，時間8s—20s；
（4）撈出浸入純水中；
（5）超聲清洗；
（6）離心甩干與烘干爐干燥去水；
（7）分選；
（8）包裝入庫即可。
2.根椐權利要求1所述的一種多晶硅料的清洗工藝，其特征在于，所述的超聲清洗設有三級溢流工序。
3.根椐權利要求1所述的一種多晶硅料的清洗工藝，其特征在于，所述的硝酸濃度為65%—68%，氫氟酸濃度為49%純度為EL級。
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