[發明專利]一種激光檢測裝置

無效

• 申請號: 201110345365.4
• 申請日: 2011-11-04
• 公開（公告）號: CN102506712A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 席峰;王佳;劉訓春;李勇滔;李楠;張慶釗;夏洋
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01P3/36
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 劉麗君

技術領域

?本發明涉及真空等離子體設備技術領域，具體涉及一種應用于真空等離子體設備的激光檢測裝置。

背景技術

在淀積和濺射等等離子體工藝中，所用的載片臺需要轉動，使薄膜的厚度均勻一致。通常在腔室內底部加上一個磁性開關或接近開關，當載片臺到達預定位置時，產生一個到位信號，使載片臺固定在指定位置，取放芯片。傳統的方法，測量和定位精度差、拆裝維護不方便，在等離子工藝條件下，易產生反應物污染。

發明內容

本發明的目的在于提供一種激光檢測裝置，在淀積和濺射等等離子體工藝中，實現高精度、快速檢測和定位。

為了達到上述目的，本發明采用的技術方案為：

一種激光檢測裝置，包括激光器筒體和設置在所述激光器筒體下方的激光器，所述激光器筒體下端設有透光玻璃；所述激光檢測裝置設置在真空室下部。

上述方案中，所述激光器筒體為圓柱筒狀。

上述方案中，所述激光器筒體通過激光器支架與所述激光器連接。

上述方案中，所述激光器與真空室載片臺的距離為5～5000mm。

上述方案中，所述透光玻璃厚度為1～20mm，直徑為1～200mm。

上述方案中，所述透光玻璃的材料為石英或聚碳酸酯。

上述方案中，所述激光器筒體和激光器支架的材質為金屬材料，所述金屬材料為鋁合金或不銹鋼。

上述方案中，所述激光器檢測移動物體精度的速度為0.01～10mm/s，所述激光器檢測固定物體的檢測精度0.001～10mm。

與現有技術方案相比，本發明采用的技術方案產生的有益效果如下：

本發明設置在真空室外部，實現動態檢測載片臺位置和移動速度，在等離子體工藝中可以保持真空腔室對真空度的要求；保持激光器結構和信號采集不會受等離子電磁場的干擾；等離子體啟輝條件下，不會污染激光檢測裝置，同時便于操作和維護。

附圖說明??????????????

圖1為本發明實施例提供的進氣結構的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明技術方案進行詳細描述。

如圖1所示，本發明實施例提供一種激光檢測裝置，安裝在真空室2的下部，包括圓柱筒狀的激光器筒體3和設置在激光器筒體3下方的激光器8。激光器筒體3通過激光器支架4與激光器8連接，激光器8包括發射器6和接收器7；激光器筒體3下端設有透光玻璃5，透光玻璃的材料為石英或聚碳酸酯，透光玻璃厚度為1～20mm，直徑為1～200mm。激光器8與真空室載片臺1的距離為5～5000mm。激光器筒體3和激光器支架4的材質為鋁合金或不銹鋼等金屬材料。激光器8檢測移動物體精度的速度為0.01～10mm/s，激光器8檢測固定物體的檢測精度0.001～10mm。

本發明在工作時，發射器6發射光通過透光玻璃5，到達載片臺1上的被檢測物體，激光被反射由接收器7接受，獲得信號，接入計算機實現檢測和控制。當載片臺1在預定位置停止，然后取放芯片，為工藝實驗做好準備。激光器8檢測距離在1～5000mm范圍，檢測精度由激光器8和安裝支架4的精度、以及測量的距離決定，為0.01～10mm。激光器支架4安裝時，確保激光檢測的位置在筒體的中間部分，可保證測量的清晰度和精度，以及測量的重復性。

本發明可以在真空腔室外部安裝，激光器支架的安裝距離可以調整，實現動態檢測載片臺位置和移動速度。本發明還可以保持真空腔室對真空度的要求，保持激光器結構和信號采集不會受等離子電磁場的干擾，在等離子體啟輝條件下，不會污染激光檢測裝置。

以上所述僅為本發明的優選實施例而已，并不用于限制本發明，對于本領域的技術人員來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。