[發(fā)明專利]一種激光檢測裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110345365.4 | 申請日： | 2011-11-04 |
| 公開（公告）號： | CN102506712A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 席峰;王佳;劉訓(xùn)春;李勇滔;李楠;張慶釗;夏洋 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01P3/36 |
| 代理公司： | 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302 | 代理人： | 劉麗君 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 激光 檢測 裝置 | ||
1.一種激光檢測裝置，其特征在于：包括激光器筒體和設(shè)置在所述激光器筒體下方的激光器，所述激光器筒體下端設(shè)有透光玻璃；所述激光檢測裝置設(shè)置在真空室下部。
2.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于：所述激光器筒體為圓柱筒狀。
3.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于：所述激光器筒體通過激光器支架與所述激光器連接。
4.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于：所述激光器與真空室載片臺的距離為5～5000mm。
5.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于：所述透光玻璃厚度為1～20mm，直徑為1～200mm。
6.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于：所述透光玻璃的材料為石英或聚碳酸酯。
7.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于：所述激光器筒體和激光器支架的材質(zhì)為金屬材料，所述金屬材料為鋁合金或不銹鋼。
8.如權(quán)利要求1所述的激光檢測裝置，其特征在于：所述激光器檢測移動物體精度的速度為0.01～10mm/s，所述激光器檢測固定物體的檢測精度0.001～10mm。
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