[發明專利]集成電路封裝材料的合成方法有效
| 申請號: | 201110345260.9 | 申請日: | 2011-11-04 |
| 公開(公告)號: | CN102364665A | 公開(公告)日: | 2012-02-29 |
| 發明(設計)人: | 徐振武 | 申請(專利權)人: | 徐振武 |
| 主分類號: | H01L21/48 | 分類號: | H01L21/48;C22C11/06;B22D27/04 |
| 代理公司: | 石家莊科誠專利事務所 13113 | 代理人: | 張紅衛 |
| 地址: | 065700 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 集成電路 封裝 材料 合成 方法 | ||
技術領域
本發明屬于金屬材料領域,涉及一種半導體焊接材料的合成,具體地說是一種集成電路封裝材料的一種合成方法。?
背景技術
目前焊接材料的合成方法有真空合成和普通合成,不能滿足集成電路高精度器件的焊接要求。具體而言就是:?
(1)??真空合成
用高頻真空熔煉,爐根據焊料要求按重量稱重和在一起加溫電磁攪拌合成。所制得的部分合金,其金屬顆粒的直徑遠遠大于50微米,最大可至133微米,因此導致焊接后的元器件在使用時因金屬顆粒大、不均而存在的熱脹系數不同問題,造成器件芯片脫開或龜裂、局部熱點、結退化、開路、高阻、短路和熱阻增加引起的二次擊穿等等,直接導致使用壽命降低。
因此,真空合成不能滿足高精度器件的要求。?
(2)??普通合成?
在大氣中根據焊料要求按重量稱重和在一起加溫,機器攪拌合成。造成氧化物過多,使焊接中脫焊電阻增加,也不能滿足高精度器件的要求。
發明內容
本發明要解決的技術問題是提供一種集成電路封裝材料的合成方法,采用鉛、錫、銀為原料,采用無流澆鑄的方法進行鑄錠,能夠克服現有金屬液在鑄錠過程中需要流動而導致的偏析、晶粒變大的弊病,所制得的焊接材料顆粒小于50微米,且顆粒大小均勻一致,使焊接元件性能可靠。?
本發明為解決上述技術問題,所采用的技術方案是:?
一種集成電路封裝材料的合成方法,制成所述集成電路封裝材料有效成份的原料包括重量份數比為2:1:37的錫、銀、鉛,該合成方法按照以下步驟順序進行:
(1)?熔煉
取錫與銀,在真空熔煉爐(設備本身帶有電磁攪拌)中加熱至熔融,冷卻成型,得錫銀二元金屬錠A;
取鉛,與錫銀二元金屬錠A,在敞口耐高溫容器中加熱至400—450℃熔煉至熔融,得熔融三元金屬液體B;?
(2)?去除氧化渣
對熔融三元金屬液體B進行攪拌,去氧化渣,得待鑄金屬液C;
(3)鑄錠
將待鑄金屬液C進行無流隔氧劇冷成型,即得。
作為本發明的一種限定,所述無流隔氧劇冷成型即:?
將15—30℃恒溫的敞口模具,快速浸入到熔融三元金屬液體C中,停留5—8min,提起,快速冷卻成型。
作為本發明的另一種限定,所述步驟(1)前還設有步驟(1′),即:?
(1′)表面處理
取錫、鉛、銀,分別去除表面氧化皮。
表面去除氧化皮,保證材料純度。?
作為本發明的進一步限定,所述步驟(1)與步驟(1′)間還設有步驟(1″),即:?
(1″)純度分析
對錫、鉛、銀進行純度分析,選用純度為99.99%以上的原材料。
對原料的純度要求較高,避免成品中雜質含量過高、過多,影響焊接元件的使用性能。?
說明:本發明所述的“無流隔氧劇冷成型”中,“無流”是指鑄錠時金屬液無流動,避免過程中發生偏析現象帶來晶粒變大的可能,因此能控制鑄錠時合金的均勻度;“隔氧”是指不能讓氧氣進入待鑄金屬液中,避免氧化物的生成影響合成材料的品質、焊接元件的性能,待鑄金屬液本身就具有這種隔氧作用;“劇冷”,是指快速冷卻,這種冷卻方式能夠控制金屬晶粒大小不使長大。?
由于采用了上述的技術方案,本發明與現有技術相比,所取得的技術進步在于:本發明以鉛-錫-銀為原料,采用無流鑄錠成型的方法,制得的焊接材料顆粒小于50微米,且顆粒大小均勻一致,從而使焊料顆粒的熱脹系數相同,避免了焊接器件脫開、龜裂、局部熱點、結退化、開路、高阻、短路、熱阻增加引起的二次擊穿等現象,延長器件的使用壽命。本發明適用于合成航天、空客飛機、高檔汽車、高檔電器等領域器件用半導體材料的焊接材料。?
本發明下面將結合說明書附圖與具體實施例作進一步詳細說明。?
附圖說明
圖1是本發明實施例的工藝流程圖;?
圖2是本發明實施例的合成過程示意圖。
圖中:1—模具;2—起重設備;3—待鑄金屬液;4—容器。?
具體實施方式
實施例
一種用于集成電路封裝材料的合成方法,其工藝流程參考圖1。?
該材料以重量份數比為2:1:37的錫、銀、鉛制成,其合成方法按照以下步驟順序進行:?
①表面處理
取錫、鉛、銀,通過機器處理扒皮實現表面除氧化皮。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于徐振武,未經徐振武許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110345260.9/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





