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[發明專利]集成電路封裝材料的合成方法有效

專利信息
申請號: 201110345260.9 申請日: 2011-11-04
公開(公告)號: CN102364665A 公開(公告)日: 2012-02-29
發明(設計)人: 徐振武 申請(專利權)人: 徐振武
主分類號: H01L21/48 分類號: H01L21/48;C22C11/06;B22D27/04
代理公司: 石家莊科誠專利事務所 13113 代理人: 張紅衛
地址: 065700 河*** 國省代碼: 河北;13
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 集成電路 封裝 材料 合成 方法
【說明書】:

技術領域

發明屬于金屬材料領域,涉及一種半導體焊接材料的合成,具體地說是一種集成電路封裝材料的一種合成方法。?

背景技術

目前焊接材料的合成方法有真空合成和普通合成,不能滿足集成電路高精度器件的焊接要求。具體而言就是:?

(1)??真空合成

用高頻真空熔煉,爐根據焊料要求按重量稱重和在一起加溫電磁攪拌合成。所制得的部分合金,其金屬顆粒的直徑遠遠大于50微米,最大可至133微米,因此導致焊接后的元器件在使用時因金屬顆粒大、不均而存在的熱脹系數不同問題,造成器件芯片脫開或龜裂、局部熱點、結退化、開路、高阻、短路和熱阻增加引起的二次擊穿等等,直接導致使用壽命降低。

因此,真空合成不能滿足高精度器件的要求。?

(2)??普通合成?

在大氣中根據焊料要求按重量稱重和在一起加溫,機器攪拌合成。造成氧化物過多,使焊接中脫焊電阻增加,也不能滿足高精度器件的要求。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種集成電路封裝材料的合成方法,采用鉛、錫、銀為原料,采用無流澆鑄的方法進行鑄錠,能夠克服現有金屬液在鑄錠過程中需要流動而導致的偏析、晶粒變大的弊病,所制得的焊接材料顆粒小于50微米,且顆粒大小均勻一致,使焊接元件性能可靠。?

本發明為解決上述技術問題,所采用的技術方案是:?

一種集成電路封裝材料的合成方法,制成所述集成電路封裝材料有效成份的原料包括重量份數比為2:1:37的錫、銀、鉛,該合成方法按照以下步驟順序進行:

(1)?熔煉

取錫與銀,在真空熔煉爐(設備本身帶有電磁攪拌)中加熱至熔融,冷卻成型,得錫銀二元金屬錠A;

取鉛,與錫銀二元金屬錠A,在敞口耐高溫容器中加熱至400—450℃熔煉至熔融,得熔融三元金屬液體B;?

(2)?去除氧化渣

對熔融三元金屬液體B進行攪拌,去氧化渣,得待鑄金屬液C;

(3)鑄錠

將待鑄金屬液C進行無流隔氧劇冷成型,即得。

作為本發明的一種限定,所述無流隔氧劇冷成型即:?

將15—30℃恒溫的敞口模具,快速浸入到熔融三元金屬液體C中,停留5—8min,提起,快速冷卻成型。

作為本發明的另一種限定,所述步驟(1)前還設有步驟(1′),即:?

(1′)表面處理

取錫、鉛、銀,分別去除表面氧化皮。

表面去除氧化皮,保證材料純度。?

作為本發明的進一步限定,所述步驟(1)與步驟(1′)間還設有步驟(1″),即:?

(1″)純度分析

對錫、鉛、銀進行純度分析,選用純度為99.99%以上的原材料。

對原料的純度要求較高,避免成品中雜質含量過高、過多,影響焊接元件的使用性能。?

說明:本發明所述的“無流隔氧劇冷成型”中,“無流”是指鑄錠時金屬液無流動,避免過程中發生偏析現象帶來晶粒變大的可能,因此能控制鑄錠時合金的均勻度;“隔氧”是指不能讓氧氣進入待鑄金屬液中,避免氧化物的生成影響合成材料的品質、焊接元件的性能,待鑄金屬液本身就具有這種隔氧作用;“劇冷”,是指快速冷卻,這種冷卻方式能夠控制金屬晶粒大小不使長大。?

由于采用了上述的技術方案,本發明與現有技術相比,所取得的技術進步在于:本發明以鉛-錫-銀為原料,采用無流鑄錠成型的方法,制得的焊接材料顆粒小于50微米,且顆粒大小均勻一致,從而使焊料顆粒的熱脹系數相同,避免了焊接器件脫開、龜裂、局部熱點、結退化、開路、高阻、短路、熱阻增加引起的二次擊穿等現象,延長器件的使用壽命。本發明適用于合成航天、空客飛機、高檔汽車、高檔電器等領域器件用半導體材料的焊接材料。?

本發明下面將結合說明書附圖與具體實施例作進一步詳細說明。?

附圖說明

圖1是本發明實施例的工藝流程圖;?

圖2是本發明實施例的合成過程示意圖。

圖中:1—模具;2—起重設備;3—待鑄金屬液;4—容器。?

具體實施方式

實施例

一種用于集成電路封裝材料的合成方法,其工藝流程參考圖1。?

該材料以重量份數比為2:1:37的錫、銀、鉛制成,其合成方法按照以下步驟順序進行:?

①表面處理

取錫、鉛、銀,通過機器處理扒皮實現表面除氧化皮。

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