[發明專利]用于半導體廠房的酸堿性排氣的洗滌塔

無效

• 申請號: 201110341640.5
• 申請日: 2011-11-03
• 公開（公告）號: CN103084051A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 莊建春
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/40;B01D53/42
• 代理公司: 北京市磐華律師事務所 11336
• 代理人: 徐丁峰;汪洋

1.一種用于半導體廠房的酸堿性排氣的洗滌塔，其特征在于，所述洗滌塔包括：?

循環洗滌劑箱，所述循環洗滌劑箱的中部設置有多孔的隔板，所述隔板下方的所述循環洗滌劑箱用于收集洗滌劑，所述隔板上設置有用于增大所述酸堿性排氣與所述洗滌劑的接觸面積的填料；

循環泵和循環管路，所述循環泵通過所述循環管路與所述循環洗滌劑箱連接，用于驅動所述洗滌劑循環流動；以及

液位計，所述液位計設置在所述循環洗滌劑箱的下部，并通過連接裝置與所述循環洗滌劑箱連接，所述連接裝置上設置有過濾裝置。

2.按照權利要求1所述的洗滌塔，其特征在于，所述連接裝置包括設置在所述液位計的入口管上的第一法蘭環、設置在所述循環洗滌劑箱的出口管上的第二法蘭環以及用于連接所述第一法蘭環和所述第二法蘭環的連接件。

3.按照權利要求2所述的洗滌塔，其特征在于，所述過濾裝置設置在所述第一法蘭環和所述第二法蘭環之間。

4.按照權利要求3所述的洗滌塔，其特征在于，所述過濾裝置為過濾網。

5.按照權利要求4所述的洗滌塔，其特征在于，所述過濾網是由非金屬材料制成的。

6.按照權利要求5所述的洗滌塔，其特征在于，所述過濾網是由無紡布編織材料制成的。

7.按照權利要求1所述的洗滌塔，其特征在于，所述填料為特拉瑞德環結構的填料。

8.按照權利要求1所述的洗滌塔，其特征在于，所述循環管路在所述循環洗滌劑箱內的入口設置在所述洗滌劑循環箱的頂部，且所述循環管路的入口處設置有噴嘴。

9.按照權利要求1所述的洗滌塔，其特征在于，所述循環洗滌劑箱的前端和后端分別設置有氣體入口和氣體出口，以使所述酸堿性排氣從所述氣體入口進入經由所述填料并從所述氣體出口排出。