[發明專利]一種用于溝槽刻蝕設備零件的清洗方法

有效

• 申請號: 201110340117.0
• 申請日: 2011-11-01
• 公開（公告）號: CN103084984A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 呂永銘
• 申請（專利權）人: 上海科秉電子科技有限公司;科治新技股份有限公司
• 主分類號: B24C3/32
• 分類號: B24C3/32;B24C5/04;B24C7/00
• 代理公司: 上海兆豐知識產權代理事務所(有限合伙) 31241
• 代理人: 倪繼祖

技術領域

本發明涉及一種用于溝槽刻蝕設備零件的清洗方法。

背景技術

溝槽刻蝕設備屬于半導體制造其中一種形式生產設備，是蝕刻制程設備中的其中一環，該設備特征為設備數量多、制程種類多、制程轉換容易；但是生產保養周期短，零件耗損對于半導體生產制程的影響明顯。

由于溝槽刻蝕設備的零件表面均會制造一層陽極膜層，此陽極膜層會在晶圓的制造過程中，逐漸消耗。當零件上的陽極膜層消耗到一定程度后，將會逐漸影響生產設備的穩定度，使晶圓在制造過程中造成不良后果，影響產品質量。通常發生這類問題時，零件都需重新陽極才可繼續使用，此為通常選擇的方式；但重新陽極費用價格比較貴，而且重新陽極相對周期較長，在可供周轉的備用零件不足時，可能會影響正常的生產使用。

溝槽刻蝕設備零件在使用后需進行洗凈后方可再次使用，現有清洗方法主要是采用有機溶劑浸泡的方式，利用有機溶劑來去除零件的附著物。

浸泡的時間越久附著物去除的越干凈，當零件數量倍數于槽體數量時，就必須采用批量作業，作業時間因此延長；同時，由于主要是使用有機溶劑浸泡的方式進行洗凈，有機溶劑同樣的的會對陽極膜層有一個程度的微量消耗，不利于產品使用壽命的延長。

因此，如何在清洗零件時既能去除零件的附著物又能不消耗零件陽極膜層，一直是本領域技術人員致力于解決的問題之一。

發明內容

本發明的目的，就是針對上述問題而提供一種用于溝槽刻蝕設備零件的清洗方法，該清洗方法既能去除零件的附著物又能不消耗零件陽極膜層。

本發明為達目的所采用的技術方案是：

本發明的一種用于溝槽刻蝕設備零件的清洗方法，包括以下步驟：

選擇樹脂砂作為主要砂材，調整噴砂機噴出工作壓力為0.35Mpa-0.5Mpa；將噴砂機的噴砂頭對準待清洗的溝槽刻蝕設備零件上的附著物區域開始噴砂，利用砂材沖擊掉附著于所述溝槽刻蝕設備零件上的附著物；再經過超純水精洗將上述附著物清除。

本發明清洗方法與現有有機溶劑清洗方法比較，具有以下優點：

1.砂材因為選用樹脂砂，可以在不傷及母材與陽極膜層的情況下，同樣達到零件的洗凈目的；

2.在砂材消耗比較上，樹脂砂材可以重復使用，有機浸泡藥液不可重復使用，可節省原料成本；在廢棄物處理上，廢噴砂處理方式與費用均較廢有機溶劑簡單且便宜，可節省環保費用；

3.噴砂洗凈的作業時間明顯優于有機溶劑浸泡洗凈，在作業效率比較上噴砂洗凈處理快于有機浸泡洗凈，可節省作業時間成本，提高生產效率；

4.有機溶劑浸泡洗凈產能高峰期與低峰期明顯，噴砂洗凈生產產能穩定，利于整體生產排程，作業人員作業效率可以充分利用；

5.由于噴砂洗凈未傷及零件母材與陽極膜層，將可有效延長零件使用壽命，降低零件重新陽極的周期，在零件的采購與維修費用上帶來實質的節約。

具體實施方式

下面結合實施例對本發明作進一步描述：

本發明用于溝槽刻蝕設備零件的清洗方法，包括以下步驟：

選擇樹脂砂作為主要砂材，調整噴砂機噴出工作壓力為0.35Mpa-0.5Mpa；將噴砂機的噴砂頭對準待清洗的溝槽刻蝕設備零件上的附著物區域開始噴砂，利用砂材沖擊掉附著于所述溝槽刻蝕設備零件上的附著物；再經過超純水精洗將上述附著物清除。

以上實施例僅供說明本發明之用，而非對本發明的限制，有關技術領域的技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術方案也應該屬于本發明的范疇，應由各權利要求所限定。