[發明專利]一種用于溝槽刻蝕設備零件的清洗方法有效
| 申請號： | 201110340117.0 | 申請日： | 2011-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN103084984A | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發明（設計）人： | 呂永銘 | 申請（專利權）人： | 上?？票娮涌萍加邢薰?/a>;科治新技股份有限公司 |
| 主分類號： | B24C3/32 | 分類號： | B24C3/32;B24C5/04;B24C7/00 |
| 代理公司： | 上海兆豐知識產權代理事務所(有限合伙) 31241 | 代理人： | 倪繼祖 |
| 地址： | 201709 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 溝槽 刻蝕 設備 零件 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于溝槽刻蝕設備零件的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：
選擇樹脂砂作為主要砂材，調整噴砂機噴出工作壓力為0.35Mpa-0.5Mpa；將噴砂機的噴砂頭對準待清洗的溝槽刻蝕設備零件上的附著物區域開始噴砂，利用砂材沖擊掉附著于所述溝槽刻蝕設備零件上的附著物；再經過超純水精洗將上述附著物清除。
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