[發(fā)明專利]一種測量微蝕速率的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110339917.0 | 申請日： | 2011-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN102507365A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 范錚;劉良軍;楊智勤 | 申請（專利權(quán)）人： | 深南電路有限公司 |
| 主分類號： | G01N5/04 | 分類號： | G01N5/04 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 彭愿潔;李文紅 |
| 地址： | 518000 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 測量 速率 方法 | ||
1.一種測量微蝕速率的方法，其特征在于，所述方法包括以下次序的步驟：
(1)測量待測銅板的面積S；
(2)獲取所述待測銅板置入微蝕液前后的質(zhì)量差ΔM以及記錄所述待測銅板置入微蝕液的時間ΔT；
(3)根據(jù)所述待測銅板置入微蝕液前后的質(zhì)量差ΔM和所述待測銅板置入微蝕液的時間ΔT，計算微蝕速率。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述獲取所述待測銅板置入微蝕液前后的質(zhì)量差ΔM包括：
稱取所述待測銅板置入微蝕液前的質(zhì)量m1；
將所述待測銅板置入微蝕液微蝕時間ΔT；
取出經(jīng)過微蝕的待測銅板烘干；
稱取所述烘干后的待測銅板質(zhì)量m2；
計算質(zhì)量m1與質(zhì)量m2的差值，所述差值為所述待測銅板置入微蝕液前后的質(zhì)量差ΔM。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述稱取所述待測銅板置入微蝕液前的質(zhì)量m1和所述稱取所述烘干后的待測銅板質(zhì)量m2具體為：
采用天平稱取所述待測銅板置入微蝕液前的質(zhì)量m1和所述烘干后的待測銅板質(zhì)量m2。
4.如權(quán)利要求1至3任意一項所述的方法，其特征在于，若所述面積S以平方厘米計，質(zhì)量差ΔM以克計，所述時間ΔT以分鐘計，則所述計算微蝕速率為：
計算E＝ΔM×Q/ρ×S×ΔT，其中，ρ為銅的密度并以克每立方厘米計，Q為單位換算量，其值為1000μm/cm，E為所述微蝕速率。
5.如權(quán)利要求1至3任意一項所述的方法，其特征在于，所述待測銅板的形狀為規(guī)則幾何形狀。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述規(guī)則幾何形狀為圓形、三角形或矩形。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，規(guī)則幾何形狀為矩形
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述矩形是正方形。
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