[發(fā)明專利]放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110339012.3
• 申請(qǐng)日: 2008-04-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102446669A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 菊池孝幸;北野博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): H01J5/62
• 分類號(hào): H01J5/62;H01J5/54;H01J61/52
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;楊林森

本發(fā)明專利申請(qǐng)是針對(duì)申請(qǐng)日為2008年4月3日、申請(qǐng)?zhí)枮?00880000911.7、發(fā)明名稱為“放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置”的申請(qǐng)?zhí)岢龅姆职干暾?qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及放電燈、連接放電燈與電源之時(shí)使用的連接用線纜、具備放電燈的光源裝置以及具備該光源裝置的曝光裝置。

背景技術(shù)

在用于制造各種設(shè)備(微型設(shè)備、電子設(shè)備等)的光刻工序中，為了將形成于母版(或光掩模等)上的圖案向涂布有抗蝕劑的晶片(或玻璃平板等)上轉(zhuǎn)印，使用步進(jìn)機(jī)等一次性曝光型(靜止曝光型)的投影曝光裝置以及掃描步進(jìn)裝置等掃描曝光型的投影曝光裝置等曝光裝置。在這些曝光裝置中，使用將水銀燈等放電燈與聚光鏡組合而成的曝光用的光源裝置，其放電燈被經(jīng)由給定的安裝機(jī)構(gòu)保持。

在具有放電燈的以往光源裝置當(dāng)中，存在一種為了減輕發(fā)熱的影響而設(shè)置有冷卻機(jī)構(gòu)的類型。以往的冷卻機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子是下述機(jī)構(gòu)，即：從放電燈的一方的燈頭的外面經(jīng)由燈泡部的外面向另一方的燈頭的外面供應(yīng)已被冷卻的空氣的機(jī)構(gòu)(例如參照專利文獻(xiàn)1)。作為以往的冷卻機(jī)構(gòu)的其他的例子，還已知有下述的機(jī)構(gòu)，即：在放電燈的燈頭上設(shè)置環(huán)狀的槽部，經(jīng)由該槽部及給定的送風(fēng)管向燈泡部供應(yīng)已被冷卻的空氣(例如參照專利文獻(xiàn)2)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平9-213129號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)平11-283898號(hào)公報(bào)

以往的光源裝置的放電燈的冷卻機(jī)構(gòu)，因?yàn)橹饕蚍烹姛舻臒襞莶看邓屠滹L(fēng)，所以存在對(duì)燈頭的冷卻作用小的問(wèn)題。

另外，放電燈中具有固定側(cè)的燈頭和自由端側(cè)的燈頭，在使用以往的冷卻機(jī)構(gòu)對(duì)自由端側(cè)的燈頭冷卻時(shí)，需要在燈頭的周圍也設(shè)置送風(fēng)用的配管，因而會(huì)有來(lái)自放電燈的光被遮擋這樣的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于此種情況，其目的在于提供一種光源裝置，其對(duì)放電燈的燈頭的冷卻作用大，并且在將自由端側(cè)的燈頭冷卻之時(shí)對(duì)從放電燈中產(chǎn)生的光的遮光量少。

另外，本發(fā)明的目的還在于，提供能夠應(yīng)用于此種光源裝置中的放電燈及連接用線纜以及使用此種光源裝置的曝光技術(shù)。

本發(fā)明的放電燈是在玻璃構(gòu)件的內(nèi)部收納有用于放電的電極的放電燈，并且具備：連結(jié)于該玻璃構(gòu)件的燈頭構(gòu)件；設(shè)于該燈頭構(gòu)件而由導(dǎo)電性材料形成的中繼構(gòu)件；具有與該中繼構(gòu)件電連接的導(dǎo)電性構(gòu)件的連結(jié)構(gòu)件；設(shè)于該中繼構(gòu)件及該連結(jié)構(gòu)件而用于向該燈頭構(gòu)件供應(yīng)冷卻介質(zhì)的流路。

另外，本發(fā)明的連接用線纜是用于將使用冷卻介質(zhì)及電力的裝置與該冷卻介質(zhì)的供應(yīng)源及電源連結(jié)的連接用線纜，并且具備：管狀構(gòu)件，其由柔性材料形成，并且具有該冷卻介質(zhì)的流路；覆蓋構(gòu)件，其由具有導(dǎo)電性的柔性材料形成，并且設(shè)置成覆蓋該管狀構(gòu)件。

另外，本發(fā)明的光源裝置是與電源和冷卻介質(zhì)的供應(yīng)源連接的光源裝置，并且具有本發(fā)明的放電燈；用于將該電源及該供應(yīng)源與該放電燈連接的本發(fā)明的連接用線纜。

另外，本發(fā)明的曝光裝置是利用從光源裝置中產(chǎn)生的曝光光在感光基板上將圖案曝光的曝光裝置，該光源裝置使用本發(fā)明的光源裝置。

根據(jù)本發(fā)明的放電燈，用于放電的電力經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件的導(dǎo)電性構(gòu)件、中繼構(gòu)件及燈頭構(gòu)件向用于放電的電極供應(yīng)。另外，冷卻介質(zhì)經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件及設(shè)于中繼構(gòu)件中的流路向燈頭構(gòu)件供應(yīng)。

根據(jù)本發(fā)明的連接用線纜，來(lái)自電源的電力經(jīng)由具有柔性的覆蓋構(gòu)件向裝置側(cè)供應(yīng)，來(lái)自供應(yīng)源的冷卻介質(zhì)穿過(guò)設(shè)于該覆蓋構(gòu)件內(nèi)的具有柔性的管狀構(gòu)件的內(nèi)部向裝置側(cè)供應(yīng)。

因此，根據(jù)本發(fā)明的光源裝置及曝光裝置，來(lái)自電源的電力經(jīng)由連接用線纜的覆蓋構(gòu)件、放電燈的連結(jié)構(gòu)件、中繼構(gòu)件及燈頭構(gòu)件向用于放電的電極供應(yīng)。另外，來(lái)自供應(yīng)源的冷卻介質(zhì)在穿過(guò)連接用線纜的管狀構(gòu)件后，穿過(guò)放電燈的連結(jié)構(gòu)件及中繼構(gòu)件內(nèi)的流路向燈頭構(gòu)件供應(yīng)。因此，對(duì)該燈頭構(gòu)件的冷卻作用大。另外，冷卻介質(zhì)穿過(guò)連接用線纜的電力供應(yīng)用的具有柔性的覆蓋構(gòu)件內(nèi)的具有柔性的管狀構(gòu)件向放電燈側(cè)供應(yīng)。因此，在該燈頭構(gòu)件處于自由端側(cè)的情況下，由該連接用線纜造成的對(duì)從放電燈中產(chǎn)生的光的遮光量少，光的利用效率高，并且光源裝置的溫度上升也很少。

附圖說(shuō)明

圖1是表示實(shí)施方式的一例的投影曝光裝置的概略構(gòu)成的圖。

圖2(A)是將表示圖1中的放電燈1的一部分切開(kāi)的圖，圖2(B)是沿著圖2(A)的BB線的剖面圖。

圖3(A)是表示圖2(A)的燈頭部28側(cè)的流路折曲構(gòu)件51及燈頭側(cè)連接器52的俯視圖，圖3(B)是表示圖2(A)的燈頭部28附近的構(gòu)成的剖面圖，圖3(C)是圖3(B)的要部的側(cè)視圖。