[發明專利]放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置

有效

• 申請號: 201110339012.3
• 申請日: 2008-04-03
• 公開（公告）號: CN102446669A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 菊池孝幸;北野博
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: H01J5/62
• 分類號: H01J5/62;H01J5/54;H01J61/52
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;楊林森

1.一種連接用線纜，其用于將在玻璃構件的內部收納有用于放電的電極的放電燈與所述冷卻介質的供應源及電源連結，其特征在于，

所述連接用線纜具備：

管狀構件，其由柔性材料形成，并且具有所述冷卻介質的流路；

覆蓋構件，其由具有導電性的柔性材料形成，并且設置成覆蓋所述管狀構件，用于從所述電源向所述放電燈供應電力；

第一端子構件，其既連結于所述管狀構件的一端，又連結于所述覆蓋構件的一端，并能夠與設置在覆蓋所述放電燈的燈頭構件的外罩構件上的連接器連接。

2.根據權利要求1所述的連接用線纜，其特征在于，

所述覆蓋構件是將多條導線以網眼狀編成的構件。

3.根據權利要求1或2所述的連接用線纜，其特征在于，

所述連接用線纜還具備第二端子構件，所述第二端子構件既連結于所述管狀構件的另一端，又連結于所述覆蓋構件的另一端，

所述連接用線纜經由所述第二端子構件而與所述冷卻介質的供應源及所述電源連接。

4.一種光源裝置，其與電源和冷卻介質的供應源連接，其特征在于，

所述光源裝置具有：

放電燈；和

用于將所述電源及所述供應源與所述放電燈連接的權利要求1至3中任意一項所述的連接用線纜。

5.一種曝光裝置，其利用從光源裝置中產生的曝光光在感光基板上將圖案曝光，其特征在于，

使用權利要求4所述的光源裝置作為所述光源裝置。