[發明專利]一種紫外激光蝕刻機

無效

• 申請號: 201110338390.X
• 申請日: 2011-10-31
• 公開（公告）號: CN102500929A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 段光前;龔志偉;徐延
• 申請（專利權）人: 武漢先河激光技術有限公司;黃石瑞視光電技術股份有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/08;B23K26/42;C03C15/00
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 李智

技術領域

本發明涉及激光加工領域，特別涉及一種紫外激光蝕刻機，適用于ITO膜/玻璃上蝕刻各種精細的圖形和尺寸。

背景技術

如何在ITO膜/玻璃上蝕刻精細的圖形和尺寸是人們極其關注的問題。采用印刷技術和在酸液中蝕刻圖形是常規的生產技術之一。由于其圖形的精度及線寬不達標的影響，很難用于高端產品和規模化生產；廢酸液的排放和治理又涉及到不得不考慮的環保問題。

發明內容

針對上述現有技術存在的缺點，本發明所提供的一種紫外蝕刻機，可在ITO膜/玻璃上蝕刻出各種精確尺寸的圖形。

一種紫外激光蝕刻機，其特征在于，包括機座，機座上安放有吸附平臺和垂直升降機構，垂直升降機構上安放有紫外激光器。

進一步地，所述吸附平臺包括上層、中層和下層，上層和中層開有一一對應的通孔，下層內部開有正對所有通孔的空腔，下層的空腔壁上開有抽氣孔，相鄰層之間氣密性連接。

進一步地，所述垂直升降機構包括安放在所述機座上的立柱，立柱的頂面和底面與機座的頂面平行；立柱的頂面上安放有垂直升降機，垂直升降機的升降平臺上安放有由多層板疊放的多層調節板組件，多層調節板組件的頂部設有垂直板，垂直板的背部安有加強筋板，所述激光器放于多層調節板組件的頂部。

進一步地，所述多層調節板組件采用輕質合金材料制成。

本發明的技術效果體現在：本發明可在ITO膜/玻璃上蝕刻出各種精確尺寸的圖形，蝕刻線寬可小于0.05MM、面積達到600×600MM、速度高達7000MM/S，有助于實現在觸摸屏、LCD屏的規模化生產，也消除了廢酸液對環境的污染問題，節約了治污而耗費數倍于購置本蝕刻機的資金。

附圖說明

圖1為本發明激光蝕刻機結構圖。

具體實施方式

下面參見附圖詳細說明本發明的具體實施方式。

參見圖1，本發明激光蝕刻機包括機座、吸附平臺、垂直升降機構和激光器。

機座包括底座1b和放于其上方的光學平臺1a。光學平臺1a由整塊厚實的花崗巖制成；底座1b由金屬結構件制成，其下端裝有若干調整腳1c。光學平臺1a與底座1b采用牢固而具有一定彈性的連接，加上調整腳的調節性能，一并將機座調整至水平、穩定而墩實的光學平臺。

吸附平臺由上、中、下層三部分構成。上層2a可采用工程塑料制作，在數控機床上按設計要求獲取尺寸精確、表面光滑、分布均勻的若干個小通孔。中層2b采用加工性能好的輕質合金材料制作成與上層通孔一一對應的若干個小通孔。可將上、中層栓在一起一并制作，可獲得更佳的效果。下層2c外框尺寸與上、中一樣大小，內部有一空腔，上、中層的全部小通孔均正對空腔，下層的空腔壁上開有一螺孔，以便安裝抽氣管道。上、中、下層之間采用氣密性連接，以便在工作時抽盡吸附平臺中的氣體，而將大面積IT0膜/玻璃牢牢吸附在上層上，以便對其蝕刻。吸附平臺采機械連接方式安裝在光學平臺上的相應連接孔中，并可調整與光學平臺一樣的水平程度，以達到被吸附的膜也呈水平狀態，而保證蝕刻質量。

垂直升降機構包括安裝在光學平臺1a上的立柱3，也用同一樣花崗巖制成，色彩一致，融于一體。頂面和底面與光學平臺1a平行，底面緊固安裝在光學平臺1a上，頂面安放有垂直升降機。垂直升降機的機架用金屬材料經精加工而成，其上配以滑道和垂直精密絲焊，通過旋轉頂部的手輪，就可提升或下降吸附平臺，從而使固定在平臺上的紫外激光器等裝置的升降要求。垂直升降機的升降平臺上安設有由多層輕質合金材料板疊放構成的多層調節板組件5，用于對紫外激光器進行精確地升降調節、水平方的精確調節、旋轉方向以及俯仰方向的精確調節等，以滿足激光對光學調節的各項要求，以達到精確蝕刻圖形和尺寸的要求。多層調節板頂部安裝了垂直板6，并在其后面的兩端安裝了三角形的加強筋板，也均用輕質合金材料制作，用于安裝重要的光學鏡頭組件，并保證其高穩定性。

紫外激光器7用工程塑料支架牢固地安裝在多層調節板組件5上。塑料支架保證了激光的穩定性和柔軟性。為保證激光器長時間(24小時/天)連續穩定運行和防止過熱燒毀。特采用制冷系統而可靠地解決了連續穩定運行，確保規模化生產。