[發(fā)明專利]一種紫外激光蝕刻機(jī)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110338390.X
• 申請(qǐng)日: 2011-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN102500929A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段光前;龔志偉;徐延
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢先河激光技術(shù)有限公司;黃石瑞視光電技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/36
• 分類號(hào): B23K26/36;B23K26/08;B23K26/42;C03C15/00
• 代理公司: 華中科技大學(xué)專利中心 42201
• 代理人: 李智

1.一種紫外激光蝕刻機(jī)，其特征在于，包括機(jī)座，機(jī)座上安放有吸附平臺(tái)和垂直升降機(jī)構(gòu)，垂直升降機(jī)構(gòu)上安放有紫外激光器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述吸附平臺(tái)包括上層、中層和下層，上層和中層開有一一對(duì)應(yīng)的通孔，下層內(nèi)部開有正對(duì)所有通孔的空腔，下層的空腔壁上開有抽氣孔，相鄰層之間氣密性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述垂直升降機(jī)構(gòu)包括安放在所述機(jī)座上的立柱，立柱的頂面和底面與機(jī)座的頂面平行；立柱的頂面上安放有垂直升降機(jī)，垂直升降機(jī)的升降平臺(tái)上安放有由多層板疊放的多層調(diào)節(jié)板組件，多層調(diào)節(jié)板組件的頂部設(shè)有垂直板，垂直板的背部安有加強(qiáng)筋板，所述激光器放于多層調(diào)節(jié)板組件的頂部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外激光蝕刻機(jī)，其特征在于，所述多層調(diào)節(jié)板組件采用輕質(zhì)合金材料制成。