[發(fā)明專利]制造顯示單元的方法以及顯示單元

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110336926.4
• 申請(qǐng)日: 2009-06-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102339957A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 荒井俊明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 索尼株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;H01L51/52;G02F1/133
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 彭久云

本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枮?00910203384.6、發(fā)明名稱為“制造顯示單元的方法以及顯示單元”的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及使用有機(jī)發(fā)光裝置或者液晶的顯示單元的制造方法以及顯示單元。

背景技術(shù)

近年來(lái)，在顯示單元的領(lǐng)域中，正在積極開(kāi)發(fā)下一代顯示器，并且要求省空間、高亮度和低功耗等。作為這樣的顯示單元，使用有機(jī)發(fā)光裝置的有機(jī)EL(電致發(fā)光)顯示單元引起人們的注意。有機(jī)EL顯示單元具有如下特點(diǎn)。也就是，因?yàn)橛袡C(jī)EL顯示單元為自發(fā)光型，所以視角很寬。因?yàn)橛袡C(jī)EL顯示單元不需要背光，所以可以期待節(jié)省電功率，其響應(yīng)很高，并且單元自身的厚度可以期待降低。此外，因?yàn)樗芰匣逵米饔袡C(jī)EL顯示單元的基板以便利用有機(jī)發(fā)光材料固有的柔性，所以有機(jī)EL顯示單元作為具有柔性的單元引起人們的注意。

關(guān)于有機(jī)EL顯示單元中的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，使用薄膜晶體管(TFT)作為驅(qū)動(dòng)元件的有源矩陣系統(tǒng)比無(wú)源矩陣系統(tǒng)具有更好的響應(yīng)和更好的分辨率。因此，有源矩陣系統(tǒng)被看作特別適合具有前述優(yōu)點(diǎn)的有機(jī)EL顯示單元的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。

有源矩陣有機(jī)EL顯示單元具有驅(qū)動(dòng)面板，驅(qū)動(dòng)面板提供有有機(jī)發(fā)光裝置(有機(jī)EL裝置)和驅(qū)動(dòng)有機(jī)發(fā)光裝置的驅(qū)動(dòng)元件(薄膜晶體管)，有機(jī)發(fā)光裝置包括在第一電極和第二電極之間的由有機(jī)發(fā)光材料制作的發(fā)光層。驅(qū)動(dòng)面板和密封面板用其間的粘合層結(jié)合起來(lái)，從而將有機(jī)發(fā)光裝置夾設(shè)在其間。

在有機(jī)EL顯示單元中，有底部發(fā)光型和頂部發(fā)光型，在底部發(fā)光型中光從每個(gè)有機(jī)發(fā)光裝置發(fā)射到前述的驅(qū)動(dòng)面板側(cè)，在頂部發(fā)光類型中這樣的光相反地發(fā)射到前述的密封面板側(cè)。后者的類型能夠更大地增加開(kāi)口比，并且后者的類型是發(fā)展的主流。

在頂發(fā)射型有機(jī)EL顯示單元中，對(duì)于下層側(cè)即驅(qū)動(dòng)元件側(cè)的第一電極，使用具有相對(duì)較大的功函數(shù)的材料，例如，諸如ITO(氧化銦錫)的氧化物導(dǎo)電材料，使空穴易于注入發(fā)光層中。然而，氧化物導(dǎo)電材料的電阻率比通常的配線金屬材料等的電阻率高兩到三個(gè)數(shù)量級(jí)，因此除了第一電極外，氧化物導(dǎo)電材料沒(méi)能用于配線等的材料。此外，向下發(fā)射的光可能不能有效利用，這是一個(gè)缺點(diǎn)。

因此，例如，日本未審查專利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-115393揭示了具有高反射率和低電阻率的金屬膜，形成為諸如ITO的透明導(dǎo)電膜的下層，從而用作配線等。

發(fā)明內(nèi)容

在日本未審查專利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-115393的構(gòu)造中，通過(guò)濺射等形成透明導(dǎo)電膜。然而，諸如ITO的氧化物電導(dǎo)體的濺射靶比金屬靶更硬且更脆。因此，為了在一側(cè)大于1米的大玻璃基板上執(zhí)行膜形成，目標(biāo)應(yīng)當(dāng)分成幾個(gè)部分。結(jié)果，微粒易于粘合到對(duì)應(yīng)于分開(kāi)部分的位置。該微粒滲入后續(xù)形成的有機(jī)層，這導(dǎo)致第二電極和第一電極之間的層間短路的缺陷，以致產(chǎn)生發(fā)光缺陷(暗點(diǎn)像素缺陷)。

此外，作為金屬膜，例如，已經(jīng)使用銀、鋁或者它們的合金。然而，這樣的材料易于造成產(chǎn)生表面氧化膜。因此，存在增加金屬膜和透明導(dǎo)電膜之間的接觸電阻的可能性，并且發(fā)光性能下降。

考慮到前述的缺點(diǎn)，在本發(fā)明中，所希望的是提供這樣的制造顯示單元的方法和顯示單元，其在第一電極具有包括金屬和氧化物電導(dǎo)體的層疊結(jié)構(gòu)的情況下，能夠減少由氧化物電導(dǎo)體的濺射靶引起的微粒，且在金屬和氧化物電導(dǎo)體之間獲得適當(dāng)導(dǎo)電性。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供在第一電極和第二電極之間具有顯示層的顯示單元的制造方法，其中形成第一電極的步驟包括下面的步驟A和B：

A、在基板上形成層疊結(jié)構(gòu)的步驟，該層疊結(jié)構(gòu)依次包括由金屬制作的第一層和由氧化物顯示導(dǎo)電性的金屬制作的第二層；以及

B、在形成層疊結(jié)構(gòu)后提供表面氧化處理的步驟，由此在該第二層的厚度方向上的至少部分中形成氧化物電導(dǎo)體膜。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供的第一顯示單元在第一電極和第二電極之間具有顯示層。通過(guò)在基板上形成依次包括由金屬制作的第一層和由氧化物顯示導(dǎo)電性的金屬制作的第二層的層疊結(jié)構(gòu)來(lái)形成第一電極，然后提供表面氧化處理，由此在第二層的厚度方向上的至少部分中形成氧化物電導(dǎo)體膜。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，所提供的第二顯示單元在第一電極和第二電極之間具有顯示層。第一電極具有第一層和第二層組成的層疊結(jié)構(gòu)，第一層由金屬制作，在第一電極上提供覆蓋部分的第二層的平面形狀的的絕緣膜，從第二層的絕緣膜暴露的表面暴露部分在厚度方向上至少部分是氧化物電導(dǎo)體膜，并且覆蓋有第二層的絕緣膜的表面涂覆部分是由氧化物顯示導(dǎo)電性的金屬制作的金屬膜。