[發明專利]石墨預熱片、半導體預熱裝置、硅芯爐及磷檢爐有效
| 申請號： | 201110333579.X | 申請日： | 2011-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN102505145A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發明（設計）人： | 曹澤俊;劉華 | 申請（專利權）人： | 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B35/00 | 分類號： | C30B35/00;C30B15/14;C30B13/18;C30B13/28;C30B15/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫;熊永強 |
| 地址： | 338000 江西省新余*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨 預熱 半導體 裝置 硅芯爐 磷檢爐 | ||
1.一種石墨預熱片，其特征在于：所述石墨預熱片包括本體，所述本體上設置有多個通孔。
2.如權利要求1所述的石墨預熱片，其特征在于：所述本體為圓片狀結構，所述多個通孔在靠近所述本體的邊緣處密集，在靠近所述本體的圓心處稀疏。
3.如權利要求1所述的石墨預熱片，其特征在于：所述石墨預熱片還包括操縱柄，所述操縱柄與所述本體連接且該二者處于同一平面內。
4.一種半導體預熱裝置，位于硅芯爐內部，包括高頻線圈，其特征在于：還包括與所述高頻線圈同軸設置的石墨預熱片，所述石墨預熱片包括本體，所述本體上設置有多個通孔。
5.如權利要求4所述的半導體預熱裝置，其特征在于：所述本體為圓片狀結構，所述多個通孔在靠近所述本體的邊緣處密集，在靠近所述本體的圓心處稀疏。
6.如權利要求4所述的半導體預熱裝置，其特征在于：所述石墨預熱片還包括操縱柄，所述操縱柄與所述本體連接且該二者處于同一平面內。
7.如權利要求4所述的半導體預熱裝置，其特征在于：所述半導體預熱裝置還包括預熱片抽離裝置，所述預熱片抽離裝置包括控制桿，所述控制桿一端伸出所述硅芯爐，所述控制桿的另一端與所述石墨預熱片固定連接。
8.如權利要求4所述的半導體預熱裝置，其特征在于：所述高頻線圈連接有一功率監測儀，可實時監測所述高頻線圈的輸出功率。
9.一種單次可拉制多根硅芯的硅芯爐，包括籽晶固定裝置和爐體，其特征在于：所述硅芯爐還包括如權利要求4~8任一項中所述的半導體預熱裝置，爐體內放置有棒狀母料，所述半導體預熱裝置位于所述籽晶固定裝置和母料之間，對所述母料進行預熱。
10.一種磷檢爐，包括爐腔，爐腔內放置有棒狀硅料，其特征在于：還包括如權利要求4~8任一項中所述的半導體預熱裝置，所述半導體預熱裝置設置于所述爐腔內，對所述硅料進行預熱。
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