[發(fā)明專利]集成電路和其制作方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110332895.5 | 申請(qǐng)日： | 2011-10-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102569264A | 公開（公告）日： | 2012-07-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳重輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/58 | 分類號(hào)： | H01L23/58 |
| 代理公司： | 北京德恒律師事務(wù)所 11306 | 代理人： | 陸鑫;高雪琴 |
| 地址： | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集成電路 制作方法 | ||
1.一種集成電路，包括：
信號(hào)線，以第一方向布線；
第一屏蔽圖案，設(shè)置為與所述信號(hào)線基本平行，所述第一屏蔽圖案具有：具有第一尺寸的第一邊緣和具有第二尺寸的第二邊緣，所述第一邊緣與所述信號(hào)線基本平行，所述第一尺寸大于所述第二尺寸；以及
第二屏蔽圖案，設(shè)置為與所述信號(hào)線基本平行，所述第二屏蔽圖案具有：具有第三尺寸的第三邊緣和具有第四尺寸的第四邊緣，所述第三邊緣與所述信號(hào)線基本平行，所述第三尺寸大于所述第四尺寸，所述第四邊緣面對(duì)所述第二邊緣，在所述第二邊緣和所述第四邊緣之間有第一間隔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路，其中，所述第一尺寸約為所述第二尺寸的兩倍或以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路，其中，所述第一間隔的尺寸約為所述第二尺寸的兩倍或以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路，其中，所述信號(hào)線的寬度約為所述第二尺寸的兩倍或以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路，其中，所述第一屏蔽圖案和所述信號(hào)線在第二方向上具有約35％或更少的重疊區(qū)，并且所述第二方向與所述第一方向和所述第二邊緣的第三方向基本垂直。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路，其中，所述信號(hào)線設(shè)置在第一金屬化層中，所述第一屏蔽圖案和所述第二屏蔽圖案設(shè)置在與所述第一金屬化層不同的第二金屬化層中，并且所述第一金屬化層鄰接所述第二金屬化層。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的集成電路，進(jìn)一步包括：
第三屏蔽圖案，設(shè)置為與所述信號(hào)線基本平行，所述第三屏蔽圖案具有：具有第五尺寸的第五邊緣和具有第六尺寸的第六邊緣，所述第五邊緣與所述信號(hào)線基本平行，所述第五尺寸大于所述第六尺寸；以及
第四屏蔽圖案，設(shè)置為與所述信號(hào)線基本平行，所述第四屏蔽圖案具有：具有第七尺寸的第七邊緣和具有第八尺寸的第八邊緣，所述第七邊緣與所述信號(hào)線基本平行，所述第七尺寸大于所述第八尺寸，所述第八邊緣面對(duì)所述第六邊緣，在所述第六邊緣和所述第八邊緣之間有第二間隔，其中，所述第三屏蔽圖案和所述第四屏蔽圖案設(shè)置在與所述第一金屬化層和所述第二金屬化層不同的第三金屬化層中，并且所述第三金屬化層鄰接所述第一金屬化層。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的集成電路，進(jìn)一步包括：
第一屏蔽結(jié)構(gòu)，設(shè)置為鄰近所述信號(hào)線的第一側(cè)邊；以及
第二屏蔽結(jié)構(gòu)，設(shè)置為鄰近與所述第一側(cè)邊相對(duì)的第二側(cè)邊，其中，所述第一屏蔽結(jié)構(gòu)和所述第二屏蔽結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述第一金屬化層中。
9.一種集成電路，包括：
信號(hào)線，在第一方向上布線，所述信號(hào)線設(shè)置在第一金屬化層中；以及
多個(gè)屏蔽結(jié)構(gòu)，設(shè)置為與所述信號(hào)線基本平行，所述屏蔽結(jié)構(gòu)設(shè)置在與所述第一金屬化層鄰接的第二金屬化層中，所述屏蔽結(jié)構(gòu)均具有多個(gè)屏蔽圖案，所述屏蔽圖案以一間隔彼此分離，所述屏蔽圖案均具有：具有第一尺寸的第一邊緣和具有第二尺寸的第二邊緣，所述第一邊緣與所述信號(hào)線基本平行，所述第一尺寸大于所述第二尺寸。
10.一種形成集成電路的方法，所述方法包括：
形成在第一方向上布線的信號(hào)線；以及
形成與所述信號(hào)線基本平行的第一屏蔽圖案和第二屏蔽圖案，其中，所述第一屏蔽圖案具有：具有第一尺寸的第一邊緣和具有第二尺寸的第二邊緣，所述第一邊緣與所述信號(hào)線基本平行，所述第一尺寸大于所述第二尺寸，所述第二屏蔽圖案具有：具有第三尺寸的第三邊緣和具有第四尺寸的第四邊緣，所述第三邊緣與所述信號(hào)線基本平行，所述第三尺寸大于所述第四尺寸，所述第四邊緣面對(duì)所述第二邊緣，并且在所述第二邊緣和所述第四邊緣之間有第一間隔。
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