[發(fā)明專利]硅片清洗機的漂洗槽

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110322826.6
• 申請日: 2011-10-20
• 公開（公告）號: CN102343340A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發(fā)明（設計）人: 劉偉;王欣;楊樂
• 申請（專利權）人: 高佳太陽能股份有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 陳慧珍

技術領域

本發(fā)明涉及一種硅片清洗機的漂洗槽，尤其涉及一種節(jié)水型溢流式的硅片清洗機漂洗槽。

背景技術

目前使用的硅片清洗機漂洗槽分為兩部分，前半部分包括依次布置的五個漂洗槽，后半部分包括依次布置的兩個漂洗槽，前半部分與后半部分之間依次布置兩浸潤槽，每兩個漂洗槽為一個獨立工作單元，七個漂洗槽共有四個進水口與出水口，使得硅片清洗機用水量較大，造成了水資源的浪費。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種硅片清洗機的漂洗槽，其采用溢流式結構，只需一個進水口與出水口，具有結構簡單、節(jié)約用水量的優(yōu)點。

本發(fā)明的目的是通過以下技術方案來實現(xiàn)：

一種硅片清洗機的漂洗槽，包括前后兩部分，前半部分依次布置五個漂洗槽，后半部分依次布置兩個漂洗槽，所述前半部分最外側的漂洗槽I與進水口相連，且漂洗槽I與前半部分最內側的漂洗槽V之間、后半部分內側漂洗槽VI與外側漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結構，所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過一個溢流管道相連通，所述漂洗槽VII上開設有排污口，所述溢流管道上安裝有蓄水槽，所述蓄水槽中安裝有水位控制器，水位控制器連接有管道泵。

所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。

所述漂洗槽中均安裝有物料感應器。

本發(fā)明的有益效果為：漂洗槽I與前半部分最內側的漂洗槽V之間、后半部分內側漂洗槽VI與外側漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結構，使得漂洗槽之間為溢流模式，無需增加管道；通過將漂洗槽V與漂洗槽VI用一個溢流管道相連通，即實現(xiàn)前半部分與后半部分的連通，使得只需要一個進水口與出水口；通過設置水位控制器，當蓄水槽中的水位達到設定的高水位時，高水位控制器控制管道泵進行排水，反之，低水位控制器控制管道泵停止排水，具有自動化程度高的優(yōu)點，對比現(xiàn)有技術，該漂洗槽具有結構簡單、節(jié)約用水量的優(yōu)點。

附圖說明

下面根據(jù)附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。

圖1為本發(fā)明所述的硅片清洗機的漂洗槽的結構示意圖。

圖中：

1、漂洗槽I；2、漂洗槽V；3、洗槽VI；4、漂洗槽VII；5、溢流管道；6、蓄水槽；7、管道泵；8、進水口；9、排污口。

具體實施方式

如圖1所示，于本實施例中，本發(fā)明所述的硅片清洗機的漂洗槽，包括前后兩部分，前半部分依次布置五個漂洗槽，后半部分依次布置兩個漂洗槽，前半部分最外側的漂洗槽I1與進水口8相連，且漂洗槽I1與前半部分最內側的漂洗槽V2之間、后半部分內側漂洗槽VI3與外側漂洗槽VII4之間均采用由高到低的階梯式結構，漂洗槽V2與漂洗槽VI3通過一個溢流管道5相連通，漂洗槽VII4上開設有排污口9，溢流管道5上安裝有蓄水槽6，蓄水槽6中安裝有水位控制器，水位控制器連接有管道泵7，水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。

漂洗槽I1與前半部分最內側的漂洗槽V2之間、后半部分內側漂洗槽VI3與外側漂洗槽VII4之間均采用由高到低的階梯式結構，使得漂洗槽之間為溢流模式，無需增加管道；通過將漂洗槽V2與漂洗槽VI3用一個溢流管道5相連通，即實現(xiàn)前半部分與后半部分的連通，使得只需要一個進水口8與排污口9；通過設置水位控制器，當蓄水槽6中的水位達到設定的高水位時，高水位控制器控制管道泵7進行排水，反之，低水位控制器控制管道泵7停止排水，具有自動化程度高、結構簡單、節(jié)約用水量的優(yōu)點

每個漂洗槽中均安裝有物料感應器，當有硅片籃筐進入漂洗槽時，物料感應器將信號傳送至控制系統(tǒng)，控制清洗機進入工作狀態(tài)，當硅片籃筐離開漂洗槽時，物料感應器將信號傳送至控制系統(tǒng)，控制清洗機進入待機狀態(tài)，進一步節(jié)約了用水、用電量。