[發明專利]硅片清洗機的漂洗槽有效

申請號：	201110322826.6	申請日：	2011-10-20
公開（公告）號：	CN102343340A	公開（公告）日：	2012-02-08
發明（設計）人：	劉偉;王欣;楊樂	申請（專利權）人：	高佳太陽能股份有限公司
主分類號：	B08B3/04	分類號：	B08B3/04
代理公司：	北京品源專利代理有限公司 11332	代理人：	陳慧珍
地址：	214174 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	硅片清洗漂洗
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【權利要求書】：

1.一種硅片清洗機的漂洗槽，包括前后兩部分，前半部分依次布置五個漂洗槽，后半部分依次布置兩個漂洗槽，其特征在于：所述前半部分最外側的漂洗槽I與進水口相連，且漂洗槽I與前半部分最內側的漂洗槽V之間、后半部分內側漂洗槽VI與外側漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結構，所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過一個溢流管道相連通，所述漂洗槽VII上開設有排污口，所述溢流管道上安裝有蓄水槽，所述蓄水槽中安裝有水位控制器，水位控制器連接有管道泵。

2.根據權利要求1所述的硅片清洗機的漂洗槽，其特征在于：所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。

3.根據權利要求1所述的硅片清洗機的漂洗槽，其特征在于：所述漂洗槽中均安裝有物料感應器。

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