[發明專利]一種TFT陣列基板及其制造方法、顯示器件

無效

• 申請號: 201110321933.7
• 申請日: 2011-10-20
• 公開（公告）號: CN102629054A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 劉翔;薛建設
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1368;H01L27/02;H01L21/77
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本發明涉及液晶顯示器領域，特別涉及一種TFT陣列基板及其制造方法、顯示器件。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，簡稱TFT-LCD)具有體積小、功耗低、無輻射等特點，近年來得到了迅速地發展，在當前的平板顯示器市場中占據了主導地位。目前，TFT-LCD在各種大中小尺寸的產品上得到了廣泛的應用，幾乎涵蓋了當今信息社會的主要電子產品，如液晶電視、高清晰度數字電視、電腦(臺式和筆記本)、手機、PDA、GPS、車載顯示、投影顯示、攝像機、數碼相機、電子手表、計算器、電子儀器、儀表、公共顯示和虛幻顯示等，是目前任何一種平板顯示和CRT無法企及的。TFT-LCD一般由液晶面板(LCD?panel)、驅動電路以及下面的背光源組成，其中液晶面板是TFT-LCD中最重要的部分，它是在兩塊玻璃基板之間注入液晶，四周用封框膠封上，在兩玻璃板上分別貼敷偏振方向相互垂直的偏振片構成。其中上面的玻璃板是彩色濾光片(Color?Filter，CF)，由紅、綠、藍(R、G、B)三原色濾光片構成像素，并在彩色濾色片上設置上透明的共用電極，下面的玻璃板為TFT陣列基板，上面設置有大量矩陣式排列的薄膜晶體管以及一些周邊電路。

黑矩陣是用來遮擋漏光區域的光線，一般形成在TFT-LCD的CF上，其材料為不透光的材料。對于TFT-LCD來說，TFT陣列基板以及制造工藝決定了其產品性能、成品率和價格。為了有效地降低TFT-LCD的價格、提高成品率，TFT-LCD陣列基板的制造工藝逐步得到簡化，從開始的七次構圖(7mask)工藝已經發展到基于狹縫光刻技術的四次構圖(4mask)工藝。

現有工藝制作的TFT，由于只能利用器件本身產生的光線進行顯示，在戶外或具有強光源的情況下，如在陽光的照射下，其顯示器亮度低，對比度差，很難讀清顯示的內容。

發明內容

(一)要解決的技術問題

針對現有技術的缺點，本發明為了解決現有TFT-LCD在強光下顯示效果差的問題，針對TFT陣列基板的制作，在不增加工藝的條件下，在陣列基板表面形成了至少一個反射區域，從而充分利用外界光線提升顯示效果。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本發明具體采用如下技術方案進行：

首先，本發明提供一種TFT陣列基板，所述陣列基板包括：形成于所述陣列基板表面的至少一個反射區域，其中，所述反射區域包括上表面形成有不規則凸起的反射層、以及在所述反射層的所述不規則凸起上形成的反射面。

優選地，所述反射層為所述陣列基板的鈍化層或柵極絕緣層。

優選地，當所述反射層為所述陣列基板的鈍化層時，所述反射面由源漏金屬層形成；當所述反射層為所述陣列基板的柵極絕緣層時，所述反射面由柵金屬層形成。

優選地，當所述反射層為所述陣列基板的鈍化層時，所述陣列基板中的TFT為底柵結構；當所述反射層為所述陣列基板的柵極絕緣層時，所述陣列基板中的TFT為頂柵結構。

優選地，通過曝光顯影在所述反射層的上表面形成所述不規則凸起。

優選地，所述陣列基板包括：

一基板；

一透明導電薄膜，設置在所述基板上，所述透明導電薄膜包括像素電極；

一柵金屬層，設置在所述透明導電薄膜上，所述柵金屬層包括：柵極掃描線和TFT的柵極，所述柵極和柵極掃描線連接成一體；

一柵極絕緣層、半導體層，依次層疊設置在所述柵金屬層上，其中，所述半導體層形成在所述柵極絕緣層上，完全覆蓋柵極上方并左右延伸至TFT的源漏極下方；

一鈍化層，設置在所述半導體層上，所述鈍化層作為所述反射層，其上表面形成有所述不規則凸起；

一源漏金屬層，設置在所述鈍化層上，所述源漏金屬層包括：數據掃描線、TFT的源極和漏極、以及所述反射面。

另一方面，本發明還同時提供一種TFT陣列基板制造方法，其特征在于，所述方法包括步驟：在所述陣列基板表面的至少一個區域制備出上表面具有不規則凸起的反射層；在所述反射層的所述不規則凸起上形成反射面。

優選地，所述方法具體包括步驟：以所述陣列基板表面上涂覆的鈍化層作為所述反射層，形成所述鈍化層的圖案的同時形成所述不規則凸起；

或者，以所述陣列基板表面上沉積的柵極絕緣層作為所述反射層，形成所述柵極絕緣層的圖案的同時形成所述不規則凸起。