[發(fā)明專利]OLED基片線性傳輸設(shè)備無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110319479.1 | 申請(qǐng)日: | 2011-10-19 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102437077A | 公開(公告)日: | 2012-05-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 郭業(yè)祥;范繼良;劉惠森 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L51/56;B65G49/06 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞市南城*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | oled 線性 傳輸 設(shè)備 | ||
1.一種OLED基片線性傳輸設(shè)備,用于對(duì)OLED生產(chǎn)工藝中不同工序之間的基片進(jìn)行水平方向和豎直方向的線性傳輸,其特征在于,所述OLED基片線性傳輸設(shè)備包括:
機(jī)架,所述機(jī)架包括水平底板及沿所述水平底板彎折延伸形成的側(cè)板;
若干升降裝置,所述升降裝置沿所述水平底板的縱向呈等隔的設(shè)置于所述水平底板上,所述升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器及托架,所述托架的底端與所述升降驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連接,所述托架的頂端具有供托起基片用的托起部;以及
水平輸送裝置,所述水平輸送裝置包括水平驅(qū)動(dòng)組件及若個(gè)基片承載架,所述基片承載架沿水平方向呈等間隔的設(shè)置于所述側(cè)板上,所述基片承載架的一端可沿水平方向滑動(dòng)的與所述側(cè)板連接,所述基片承載架的另一端遠(yuǎn)離所述側(cè)板并朝所述托架處凸伸出兩對(duì)應(yīng)設(shè)置的承載部,所述承載部沿所述水平底板的縱向位于所述托起部的兩側(cè)外,且兩所述承載部朝對(duì)方彎折形成位于所述托起部正上方的基片承載區(qū),相鄰所述基片承載架之間固定連接,所述水平驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)使所述基片承載架沿水平方向移動(dòng),移動(dòng)的基片承載架使基片承載區(qū)正對(duì)托起部,升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使托起部伸入基片承載區(qū)進(jìn)而托起承載于基片承載區(qū)內(nèi)的基片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,還包括控制器及與所述控制器電性連接的傳感器組件,所述控制器控制所述升降驅(qū)動(dòng)器和水平驅(qū)動(dòng)組件,所述傳感器組件包括傳感器擋塊、第一傳感器及第二傳感器,所述傳感器擋塊安裝在一個(gè)所述基片承載架上,所述第一傳動(dòng)器分別設(shè)置所述傳感器擋塊的兩側(cè)并固定在所述側(cè)板上,所述第二傳感器安裝在所述托架上并正對(duì)所述托起部托起的基片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述第一傳感器及第二傳感器均為光電傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述水平驅(qū)動(dòng)組件包括絲桿、螺母及與所述控制器電性連接的水平驅(qū)動(dòng)器,所述絲桿沿水平方向呈樞接的安裝在所述側(cè)板上并與所述水平驅(qū)動(dòng)器的輸出軸連接,所述螺母呈嚙合的套于所述絲桿上并與安裝有所述傳感器擋塊的所述基片承載架固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述水平驅(qū)動(dòng)器為伺服電機(jī)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述水平底板與所述側(cè)板呈垂直設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述側(cè)板沿水平方向設(shè)置有導(dǎo)軌,每一所述基片承載架固定設(shè)有與所述導(dǎo)軌滑動(dòng)配合的滑塊,所述滑塊呈滑動(dòng)的卡于所述導(dǎo)軌上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述托架上設(shè)置有若干柔性的呈平面設(shè)置的頂柱,所述頂柱形成所述托起部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述承載部的位于所述基片承載區(qū)內(nèi)的部位處設(shè)置有沿豎直方向向上伸出的柔性的支撐柱。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED基片線性傳輸設(shè)備,其特征在于,所述升降驅(qū)動(dòng)器為氣缸。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
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