[發明專利]OLED基片線性傳輸設備無效
| 申請號: | 201110319479.1 | 申請日: | 2011-10-19 |
| 公開(公告)號: | CN102437077A | 公開(公告)日: | 2012-05-02 |
| 發明(設計)人: | 郭業祥;范繼良;劉惠森 | 申請(專利權)人: | 東莞宏威數碼機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L51/56;B65G49/06 |
| 代理公司: | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址: | 523000 廣東省東莞市南城*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | oled 線性 傳輸 設備 | ||
技術領域
本發明涉及一種傳輸設備,尤其涉及一種對OLED生產工藝中不同工序之間的基片進行水平方向和豎直方向的線性傳輸的OLED基片線性傳輸設備。
背景技術
隨著經濟的不斷發展及自然資源的日益緊缺,使得越來越多的企業在追求經濟效益的同時,更重視自然資源的利用效率以求能進一步地降低企業的生產成本以適應于中國新型的工業化道路的要求,而OLED的出現大大地節省了能源,從為企業提高經濟效率和降低生產成本創造了良好的條件。
OLED(英文全稱為:Organic?Light-Emitting?Diode,中文名稱為:有機發光二極管)由于具備輕薄、省電等特性,因此在數碼產品的顯示屏上得到了廣泛應用,并且具有較大的市場潛力,目前世界上對OLED的應用都聚焦在平板顯示器上,因為OLED是唯一在應用上能和TFT-LCD相提并論的技術,且是目前所有顯示技術中,唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術,可以做成和紙張一樣的厚度。因此,OLED的顯示技術是將來的顯示技術的發展方向。
其中,在OLED器件的生產線上,安裝在生產線上的傳輸設備要使基片在傳送過程中還要完成多種工序,如基片的上載、對位、燒烤、洗邊、旋涂及卸載等等工序,而對基片的上載、對位、燒烤、洗邊、旋涂及卸載等等工序并不在由一臺設備完成,且不同設備對基片操作存在不同的高度,相應的增加中轉設備以確保被現有的傳輸設備所傳送的基片在傳送過程中還能完成多種工序,而中轉設備的設置一方面使得現有的傳輸設備的結構變得非常復雜,從而增加了傳輸設備的生產成本及維護成本;另一方面增加了基片在不同工序中的對位次數,從而影響到現有的傳輸設備的工作效率。
因此,急需要一種結構緊湊以降低生產和維護成本且能提高基片傳輸效率的OLED基片線性傳輸設備。
發明內容
本發明的目的在于提供一種結構緊湊以降低生產和維護成本且能提高基片傳輸效率的OLED基片線性傳輸設備。
為實現上述目的,本發明提供了一種OLED基片線性傳輸設備,用于對OLED生產工藝中不同工序之間的基片進行水平方向和豎直方向的線性傳輸,其中,所述OLED基片線性傳輸設備包括機架、水平輸送裝置及若干升降裝置。所述機架包括水平底板及沿所述水平底板彎折形成的側板;所述升降裝置沿所述水平底板的縱向呈等隔的設置于所述水平底板上,所述升降裝置包括升降驅動器及托架,所述托架的底端與所述升降驅動器的輸出軸連接,所述托架的頂端具有供托起基片用的托起部;所述水平輸送裝置包括水平驅動組件及若個基片承載架,所述基片承載架沿水平方向呈等間隔的設置于所述側板上,所述基片承載架的一端可沿水平方向滑動的與所述側板連接,所述基片承載架的另一端遠離所述側板并朝所述托架處凸伸出兩對應設置的承載部,所述承載部沿所述水平底板的縱向位于所述托起部的兩側外,且兩所述承載部朝對方彎折形成位于所述托起部正上方的基片承載區,相鄰所述基片承載架之間固定連接,所述水平驅動組件驅使所述基片承載架沿水平方向移動,移動的基片承載架使基片承載區正對托起部,升降驅動器驅使托起部伸入基片承載區進而托起承載于基片承載區內的基片。
較佳地,所述OLED基片線性傳輸設備還包括控制器及與所述控制器電性連接的傳感器組件,所述控制器控制所述升降驅動器和水平驅動組件,所述傳感器組件包括傳感器擋塊、第一傳感器及第二傳感器,所述傳感器擋塊安裝在一個所述基片承載架上,所述第一傳動器分別設置所述傳感器擋塊的兩側并固定在所述側板上,所述第二傳感器安裝在所述托架上并正對所述托起部托起的基片。通過傳感器擋塊、第一傳感器、第二傳感器及控制器,使得本發明的OLED基片線性傳輸設備形成一個全動自化的生產系統,進一步進提高本發明的OLED基片線性傳輸設備的工作效率。更具體地,所述第一傳感器及第二傳感器均為光電傳感器,使得第一傳感器及第二傳感器的感應更精準,從而為本發明的OLED基片線性傳輸設備的精準控制創造良好的條件。
較佳地,所述水平底板與所述側板呈垂直設置,便于基片承載架在側板上的安裝及滑動。
較佳地,所述水平驅動組件包括絲桿、螺母及與所述控制器電性連接的水平驅動器,所述絲桿沿水平方向呈樞接的安裝在所述側板上并與所述水平驅動器的輸出軸連接,所述螺母呈嚙合的套于所述絲桿上并與安裝有所述傳感器擋塊的所述基片承載架固定。通過絲桿及螺母的配合,提高了傳動精度,從而為與螺母固定的基片承載架在側板上的精準和平穩滑動創造良好條件。更具體地,所述水平驅動器為伺服電機,使得基片承載架的滑動更精準,從而使得基片的傳送更精準和更平穩。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





