[發明專利]流體測量系統、設備、方法及流體測量設備管理方法

有效

• 申請號: 201110319279.6
• 申請日: 2011-10-19
• 公開（公告）號: CN102564509A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 松浦和宏;高倉洋;古川幸正;安田忠弘
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G01F1/86
• 分類號: G01F1/86;G05D7/06
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 周善來;李雪春

技術領域

本發明涉及例如具有質量流量控制器等流體測量設備及管理所述流體測量設備的控制設備的流體測量系統。

背景技術

如專利文獻1所示，作為以往的流量測量系統具有一或多個質量流量傳感器等流量測量設備及用于管理所述流量測量設備的控制設備。在該流量測量系統中，在設置在控制設備中的存儲器中存儲有各流量測量設備的校準數據、校準曲線數據、流量測量設備的ID或使流量測量設備動作的代碼等。

但是，對于校準數據等存儲在控制設備中的流量測量系統，當因流量測量設備的故障等而更換流量測量設備時，需要與該流量測量設備對應，在存儲器中重新寫入更換后的流量測量設備的校準數據等。在此，更換流量測量設備并進行校準的操作以及重新在存儲器中寫入校準數據等的操作，需要在將流量測量設備連接在控制設備上的狀態下進行。即，需要在生產線等現場校準流量測量設備，并需要在生產線等現場進行在控制設備中寫入校準數據等的操作，因此存在養護性差的問題。

專利文獻1：日本專利公開公報特表2005-531069號

發明內容

鑒于所述問題，本發明的主要目的在于，僅通過將流體測量設備與控制設備連接，該控制設備就可以自動取得與流體計算相關的數據，從而可以提高流體測量系統的養護性。

即，本發明提供一種流體測量系統，具有流體測量設備及管理該流體測量設備的控制設備，其特征在于，所述流體測量設備包括流體傳感器以及相關數據存儲部，該相關數據存儲部存儲流體計算相關數據，該流體計算相關數據用于使用了由所述流體傳感器得到的測量數據的流體計算，所述控制設備從所述相關數據存儲部取得所述流體計算相關數據，并使用所述流體傳感器的所述測量數據和所述流體計算相關數據進行流體計算。另外，作為流體傳感器，可以列舉：測量流體的流量的流量傳感器、測量流體的壓力的壓力傳感器、測量流體中規定成分的濃度的濃度傳感器或測量流體的混合比的比率傳感器，等等。

按照所述流體測量系統，僅通過連接控制設備和流體測量設備，控制設備就可以自動取得連接的流體測量設備的固有的流體計算相關數據。由此，通過將流體計算相關數據僅預先存儲在流體測量設備中，就可以不在生產線等使用現場進行數據輸入操作，從而可以提高養護性。此外，即使在控制設備因故障等需要更換時，由于流體計算相關數據存儲在流體測量設備中，所以僅通過連接新的控制設備和流體測量設備，就可以不用進行輸入流體計算相關數據操作地構成流體測量系統。特別是，盡管在流體測量設備中，因流體傳感器的儀器誤差造成的測量誤差占有較大比例，但是通過使所述流體計算相關數據中預先包含用于修正流體傳感器的儀器誤差的數據，所以可以無須在現場輸入儀器誤差修正用的數據的操作，從而可以提高養護性。

優選的是，所述流體測量設備具有AD轉換器，所述AD轉換器將從所述流體傳感器輸出的模擬信號轉換成作為所述測量數據的數字信號，所述流體計算相關數據包含AD轉換特性數據，所述AD轉換特性數據表示所述AD轉換器的AD轉換特性。由此，可以考慮設置在流體測量設備中的AD轉換器的轉換特性后計算流體的流量等，從而可以修正AD轉換時的轉換誤差，因而可以高精度地進行流體計算。此外，可以減小因AD轉換器的儀器誤差導致的誤差。

如果控制設備從AD轉換器直接取得數字信號，則存在因AD轉換的等待時間會導致控制設備的其他處理受到制約的問題。為解決該問題，優選的是，所述流體測量設備具有處理器，所述處理器從所述AD轉換器取得所述數字信號并存儲在存儲器中，所述控制設備通過所述處理器取得由所述AD轉換器轉換成的所述數字信號。由此，可以降低控制設備的處理器的處理量，在使用相同性能的處理器時，可以進行更高速的處理并控制更多的流體控制設備。

優選的是，所述流體傳感器是流量傳感器，所述流體測量設備是質量流量控制器，該質量流量控制器還包括流量調節閥，所述控制設備對計算出的流量值和流量設定值進行比較計算，并使用該比較計算的結果控制所述流量調節閥。由此，在流路流量測量設備為質量流量控制器的情況下，如果按照以往的方式則向控制設備輸入的數據量也會增加，但是本發明卻無須增加向控制設備輸入的數據量，可以進一步提高養護性。

作為適合在所述流體測量系統中使用的流體測量設備，與控制設備連接并被該控制設備管理，其特征在于，所述流體測量設備包括流體傳感器以及相關數據存儲部，該相關數據存儲部用于存儲流體計算相關數據，該流體計算相關數據用于使用了由所述流體傳感器得到的測量數據的流體計算，從所述相關數據存儲部向所述控制設備輸出所述流體計算相關數據，并向所述控制設備輸出所述流體傳感器的所述測量數據。