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[發明專利]流體測量系統、設備、方法及流體測量設備管理方法有效

專利信息
申請號: 201110319279.6 申請日: 2011-10-19
公開(公告)號: CN102564509A 公開(公告)日: 2012-07-11
發明(設計)人: 松浦和宏;高倉洋;古川幸正;安田忠弘 申請(專利權)人: 株式會社堀場STEC
主分類號: G01F1/86 分類號: G01F1/86;G05D7/06
代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 代理人: 周善來;李雪春
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 流體 測量 系統 設備 方法 設備管理
【權利要求書】:

1.一種流體測量系統,具有流體測量設備及管理該流體測量設備的控制設備,其特征在于,

所述流體測量設備包括流體傳感器以及相關數據存儲部,該相關數據存儲部存儲流體計算相關數據,該流體計算相關數據用于使用了由所述流體傳感器得到的測量數據的流體計算,

所述控制設備從所述相關數據存儲部取得所述流體計算相關數據,并使用所述流體傳感器的所述測量數據和所述流體計算相關數據進行流體計算。

2.根據權利要求1所述的流體測量系統,其特征在于,所述流體測量系統具有多個所述流體測量設備。

3.根據權利要求1所述的流體測量系統,其特征在于,

所述流體測量設備具有AD轉換器,所述AD轉換器將從所述流體傳感器輸出的模擬信號轉換成作為所述測量數據的數字信號,

所述流體計算相關數據包含AD轉換特性數據,所述AD轉換特性數據表示所述AD轉換器的AD轉換特性。

4.根據權利要求3所述的流體測量系統,其特征在于,

所述流體測量設備具有處理器,所述處理器從所述AD轉換器取得所述數字信號并存儲在存儲器中,

所述控制設備通過所述處理器取得由所述AD轉換器轉換成的所述數字信號。

5.根據權利要求1所述的流體測量系統,其特征在于,

所述流體傳感器是流量傳感器,

所述流體測量設備是質量流量控制器,該質量流量控制器還包括流量調節閥,

所述控制設備對計算出的流量值和流量設定值進行比較計算,并使用該比較計算的結果控制所述流量調節閥。

6.一種流體測量設備,與控制設備連接并被該控制設備管理,其特征在于,

所述流體測量設備包括流體傳感器以及相關數據存儲部,該相關數據存儲部用于存儲流體計算相關數據,該流體計算相關數據用于使用了由所述流體傳感器得到的測量數據的流體計算,

從所述相關數據存儲部向所述控制設備輸出所述流體計算相關數據,并向所述控制設備輸出所述流體傳感器的所述測量數據。

7.一種流體測量方法,其特征在于,用于流體測量設備,該流體測量設備具有流體傳感器,并且該流體測量設備與控制設備連接,并接受該控制設備的管理,

所述流體測量方法使計算機作為相關數據存儲部,所述相關數據存儲部用于存儲流體計算相關數據,該流體計算相關數據用于使用了由所述流體傳感器得到的測量數據的流體計算。

8.一種流體測量設備管理方法,其特征在于,所述流體測量設備管理方法管理流體測量設備,該流體測量設備包括流體傳感器以及相關數據存儲部,該相關數據存儲部用于存儲流體計算相關數據,該流體計算相關數據用于使用了由所述流體傳感器得到的測量數據的流體計算,

所述流體測量設備管理方法使計算機作為相關數據取得部和流體計算部,所述相關數據取得部從所述相關數據存儲部取得所述流體計算相關數據,所述流體計算部使用所述流體傳感器的所述測量數據和所述流體計算相關數據進行流體計算。

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