[發明專利]用于干涉式調制器陣列的導電總線結構

有效

• 申請號: 201110316908.X
• 申請日: 2005-09-15
• 公開（公告）號: CN102426405A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 克拉倫斯·徐;杰弗里·B·桑普塞爾
• 申請（專利權）人: 高通MEMS科技公司
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G09G3/34
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 王允方

分案申請的相關信息

本申請為發明名稱為“用于干涉式調制器陣列的導電總線結構”的原中國發明專利申請的分案申請。原申請的申請號為200510103445.3；原申請的申請日為2005年9月15日；原發明專利申請案的優先權日為2004年9月27日。

技術領域

本發明的技術領域涉及微機電系統(MEMS)，且更具體而言，涉及用于MEMS元件陣列的電連接架構。

背景技術

微機電系統(MEMS)包括微機械元件、激勵器及電子元件。微機械元件可采用沉積、蝕刻或其它可蝕刻掉襯底及/或所沉積材料層的若干部分或可添加若干層以形成電和機電裝置的微機械加工工藝制成。一種類型的MEMS裝置被稱為干涉式調制器。干涉式調制器可包含一對導電板，其中之一或二者可部分地透明且在施加一個適當的電信號時能夠相對運動。其中一個板可包含一沉積在一襯底上的靜止層，另一個板可包含一懸掛在該靜止層上的金屬隔板。

在某些顯示器配置中，使用可獨立激勵的干涉式光調制器構成的陣列作為顯示元件。所述光調制器經電連接以提供用于單獨激勵各個光調制器的控制電壓或信號。

發明內容

本發明的系統、方法及裝置均具有多個方面，任一單個方面均不能單獨決定其所期望特性。現在，對其更主要的特性進行簡要論述，此并不限定本發明的范圍。在查看這一論述，尤其是在閱讀了標題為“具體實施方式”的部分之后，人們即可理解本發明的特征如何提供優于其它顯示裝置的優點。

在某些實施例中，一種光調制器包含一襯底、位于所述襯底上的一第一電極層、及位于所述襯底上的一第二電極層。所述光調制器進一步包含基本上平行于所述第一電極層且耦接至所述第二電極層的一反射性表面。所述反射性表面可沿一基本上垂直于所述反射性表面的方向在一第一位置和一第二位置之間移動。所述第一位置距所述第一電極層一第一距離，且所述第二位置距所述第一電極層一第二距離。所述光調制器進一步包含一導電總線層，所述導電總線層的至少一部分電耦接至所述第一電極層與所述第二電極層中至少之一。所述反射性表面響應施加在所述導電總線層上的電壓而在所述第一位置與所述第二位置之間移動。

在某些實施例中，使用一種方法來控制一光調制器。所述方法包括提供一襯底及在所述襯底上提供一第一電極層。所述方法進一步包括在所述襯底上提供一第二電極層，及提供基本上平行于所述第一電極層并耦接至所述第二電極層的一反射性表面。所述反射性表面可沿一基本上垂直于所述反射性表面的方向在一第一位置和一第二位置之間移動。所述第一位置距所述第一電極層一第一距離，且所述第二位置距所述第一電極層一第二距離。所述方法進一步包括向一導電總線層施加一電壓，其中所述導電總線層的至少一部分電耦接至所述第一電極層與所述第二電極層中至少之一。所述方法進一步包括響應施加的電壓而在所述第一位置與所述第二位置之間移動所述反射性表面。

在某些實施例中，一種裝置包含用于支撐一干涉式調制器的構件。所述裝置進一步包含位于所述支撐構件上方用于傳導一第一電信號的構件。所述裝置進一步包含位于所述支撐構件上方用于傳導一第二電信號的構件。所述裝置進一步包含用于反射光的構件，所述用于反射光的構件基本上平行于所述用于傳導所述第一電信號的構件且耦接至所述用于傳導所述第二電信號的構件，所述用于反射光的構件可沿一基本上垂直于所述用于反射光的構件的方向移動，并可在一第一位置與一第二位置之間移動，所述第一位置距所述用于傳導所述第一電信號的構件一第一距離，所述第二位置距所述用于傳導所述第一電信號的構件一第二距離。所述裝置進一步包含用于電耦接至所述用于傳導所述第一電信號的構件及所述用于傳導所述第二電信號的構件中至少之一的構件，其中所述用于反射光的構件響應施加在所述用于進行電耦接的構件上的電壓而在所述第一位置與所述第二位置之間移動。

附圖說明

圖1為一等軸圖，其顯示一干涉式調制器顯示器的一實施例的一部分，其中一第一干涉式調制器的一可移動反射層處于一釋放位置，且一第二干涉式調制器的一可移動反射層處于一受激勵位置。

圖2為一系統方塊圖，其顯示一包含一3×3干涉式調制器顯示器的電子裝置的一實施例。

圖3為圖1所示干涉式調制器的一實例性實施例的可移動鏡位置與所施加電壓的關系圖。

圖4為一組可用于驅動干涉式調制器顯示器的行和列電壓的示意圖。

圖5A及圖5B顯示可用于向圖3所示3×3干涉式調制器顯示器寫入一顯示數據幀的行和列信號的一實例性時序圖。

圖6A為一圖1所示裝置的剖面圖。