[發明專利]半導體制品檢驗臺

無效

• 申請號: 201110316199.5
• 申請日: 2011-10-18
• 公開（公告）號: CN102509710A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 許海漸
• 申請（專利權）人: 南通富士通微電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;B25H5/00
• 代理公司: 北京市惠誠律師事務所 11353
• 代理人: 雷志剛;潘士霖

1.一種半導體制品檢驗臺，其特征在于，包括：

移動臺車；

檢驗裝置，安裝在所述移動臺車上；

照明裝置，安裝在所述檢驗裝置上；以及

便攜電池，放置在所述移動臺車上并連接至所述照明裝置以為所述照明裝置供電。

2.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述移動臺車的底部安裝有多個可固定式萬向輪。

3.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述移動臺車為不銹鋼材料制成。

4.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述移動臺車上設置有防靜電腕帶插孔以及不銹鋼接地鏈。

5.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述檢驗裝置包括承載底座以及位于所述承載底座上方的光學器件。

6.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述檢驗裝置為顯微鏡。

7.如權利要求6所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述照明裝置位于所述檢驗裝置的承載底座的上方。

8.如權利要求7所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述照明裝置包括環設在所述檢驗裝置的光學器件下端用以向所述承載底座發光的多個發光二極管。

9.如權利要求1所述的半導體制品檢驗臺，其特征在于，所述便攜電池為所述照明裝置提供12V直流電壓。