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[發明專利]氧化鋅微-納結構薄膜及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201110315461.4 申請日: 2011-10-12
公開(公告)號: CN103050674A 公開(公告)日: 2013-04-17
發明(設計)人: 楊金玲;費廣濤;李惠;歐陽浩淼;朱燕琴 申請(專利權)人: 中國科學院合肥物質科學研究院
主分類號: H01M4/48 分類號: H01M4/48;B01J23/06;C25D9/04
代理公司: 合肥和瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 34118 代理人: 任崗生;王挺
地址: 230031*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: 氧化鋅 結構 薄膜 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種氧化鋅微-納結構薄膜,包括襯底和其上覆有的由氧化鋅片簇組成的薄膜,其特征在于:

所述襯底為導電襯底;

所述薄膜的膜厚為18~22μm;

所述氧化鋅片簇的直徑為4~15μm,其由氧化鋅片交叉或折連站立組成;

所述氧化鋅片的片長為1~15μm、片厚為70~210nm,其由氧化鋅顆粒構成;

所述氧化鋅顆粒的粒徑為20~50nm。

2.根據權利要求1所述的氧化鋅微-納結構薄膜,其特征是導電襯底為金屬鈦片,或金屬金片,或金屬銀片,或不銹鋼片。

3.一種權利要求1所述氧化鋅微-納結構薄膜的制備方法,包括電化學沉積法,其特征在于完成步驟如下:

先將導電襯底置于濃度為0.18~0.22mol/L的硝酸鋅溶液中,以其為陰極、石墨片為陽極,于恒定電流密度為0.26~0.30mA/cm2下電沉積30~60min,得到其上覆有中間產物的導電襯底,再將其上覆有中間產物的導電襯底置于300~500℃下退火至少2h,制得氧化鋅微-納結構薄膜。

4.根據權利要求3所述的氧化鋅微-納結構薄膜的制備方法,其特征是導電襯底為金屬鈦片,或金屬金片,或金屬銀片,或不銹鋼片。

5.根據權利要求4所述的氧化鋅微-納結構薄膜的制備方法,其特征是在電沉積之前,先將導電襯底依次置于丙酮、無水乙醇和去離子水中各超聲清洗10min,再對其使用去離子水反復清洗后晾干。

6.根據權利要求5所述的氧化鋅微-納結構薄膜的制備方法,其特征是電沉積時的溫度為22~30℃。

7.根據權利要求6所述的氧化鋅微-納結構薄膜的制備方法,其特征是退火前,先使用去離子水沖洗去除中間產物上殘留的硝酸鋅溶液。

8.根據權利要求7所述的氧化鋅微-納結構薄膜的制備方法,其特征是退火的時間為2~3h。

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