[發明專利]一種掩模板安全搬運推車

無效

• 申請號: 201110314326.8
• 申請日: 2011-10-17
• 公開（公告）號: CN102582670A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 戴韞青;傅昶
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B62B3/04
• 分類號: B62B3/04;B62B5/00;H01L21/677
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

技術領域

本發明涉及半導體集成電路及其制造領域，尤其涉及一種掩模板安全搬運推車。

背景技術

現今半導體芯片制造業中，隨著工藝的提高，光刻等工藝的要求越來越高，用于其中的掩模板也就越來越受到重視。

圖1是本發明背景技術中傳統小推車的結構示意圖；如圖1所示，在實際生產過程中，掩模板不可避免地會有搬運的需求；一般采取把掩模板裝入專用的掩模板盒11，然后放在小推車12上搬運，由于掩模板是石英制品，遇到碰撞、震動易產生損壞，在用小推車12搬運掩模板時，若地面不平或遇到意外碰撞難免會產生顛簸，而小推車12上又無避震裝置，當震動傳遞至掩模板上時，易產生微塵或損壞。

發明內容

本發明公開了一種掩模板安全搬運推車，其中，一推車上固定設置一空盒體，其內部表面固定設置有第一磁性裝置；

一放置于空盒體內的內盒，其外部表面固定設置與第一磁性裝置磁性相同的第二磁性裝置，該內盒放置于空盒體內時保持懸浮狀態。

上述的掩模板安全搬運推車，其中，第一、二磁性裝置為同性永磁鐵。

上述的掩模板安全搬運推車，其中，空盒體內部各側表面均固定設置有第一磁性裝置。

上述的掩模板安全搬運推車，其中，內盒外部各側表面對應空盒體內部各側表面上的第一磁性裝置均固定設置第二磁性裝置。

上述的掩模板安全搬運推車，其中，推車的輪子上設置有避震裝置。

上述的掩模板安全搬運推車，其中，內盒內部設置有掩模板盒卡座，其材質為彈性材料。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本發明提出一種掩模板安全搬運推車，通過采用磁懸浮裝置和在輪子上設置避震裝置及彈性材質的掩模板卡座，能較大程度的減少搬運途中對掩模板的碰撞和震動，以確保掩模板的安全搬運。

附圖說明

圖1是本發明背景技術中傳統小推車的結構示意圖；

圖2是本發明掩模板安全搬運推車的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的具體實施方式作進一步的說明：

圖2是本發明掩模板安全搬運推車的結構示意圖。如圖2所示，本發明一種掩模板安全搬運推車：

于推車2上固定設置有空盒體21，其內部各側表面上均固定設置有永磁鐵22，內盒23放置于空盒體21內，其外部各側表面上對應空盒體21內部各側表面上的永磁鐵22均固定設置永磁鐵24，其中，永磁鐵22和永磁鐵24的磁性相同，即同為S或N極，以使得內盒23能懸浮在空盒體21內，以減緩推車在運動過程中的震動對內盒23的影響。

進一步的，內盒23的內部設置有彈性材料的掩模板卡座27；由于工藝當中不能直接觸碰掩模板，以避免產生污染或靜電從而破壞掩模板，所以需要將掩模板裝進掩模板盒28中，以便于搬運。將掩模板盒28卡接在卡座27上，以進一步的減小震動對掩模板的影響。

其中，本發明的裝置還可以應用于其他類似需要安全搬運的易碎物品上。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本發明提出一種掩模板安全搬運推車，通過在掩模板搬運車上設置磁鐵、彈性卡座及避震彈簧，可以較大程度的減緩掩模板搬運過程中推車震動或意外碰撞對掩模板的影響，從而降低搬運中掩模板被破壞的風險。

通過說明和附圖，給出了具體實施方式的特定結構的典型實施例，基于本發明精神，還可作其他的轉換。盡管上述發明提出了現有的較佳實施例，然而，這些內容并不作為局限。

對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本發明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本發明的意圖和范圍內。