[發明專利]一種掩模板安全搬運推車無效
| 申請號: | 201110314326.8 | 申請日: | 2011-10-17 |
| 公開(公告)號: | CN102582670A | 公開(公告)日: | 2012-07-18 |
| 發明(設計)人: | 戴韞青;傅昶 | 申請(專利權)人: | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號: | B62B3/04 | 分類號: | B62B3/04;B62B5/00;H01L21/677 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
| 地址: | 201210 上海市浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 模板 安全 搬運 推車 | ||
1.一種掩模板安全搬運推車,其特征在于,一推車上固定設置一空盒體,其內部表面固定設置有第一磁性裝置;
一放置于空盒體內的內盒,其外部表面固定設置與第一磁性裝置磁性相同的第二磁性裝置,該內盒放置于空盒體內時保持懸浮狀態。
2.根據權利要求1所述的掩模板安全搬運推車,其特征在于,第一、二磁性裝置為同性永磁鐵。
3.根據權利要求1所述的掩模板安全搬運推車,其特征在于,空盒體內部各側表面均固定設置有第一磁性裝置。
4.根據權利要求3所述的掩模板安全搬運推車,其特征在于,內盒外部各側表面對應空盒體內部各側表面上的第一磁性裝置均固定設置第二磁性裝置。
5.根據權利要求1所述的掩模板安全搬運推車,其特征在于,推車的輪子上設置有避震裝置。
6.根據權利要求1或4所述的掩模板安全搬運推車,其特征在于,內盒內設置有掩模板盒卡座,其材質為彈性材料。
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