[發(fā)明專利]一種用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)

無效

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• 申請日: 2011-10-13
• 公開（公告）號: CN103041954A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 彭亮;周華強;徐峰;熊炳輝
• 申請（專利權(quán)）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: B05C11/00
• 分類號: B05C11/00;H01L21/67;G01F23/22
• 代理公司: 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，SOG(Spin?on?Glass)是一種由溶劑與介電質(zhì)混合而成的液態(tài)介電質(zhì)。因為含有SiO₂或接近SiO₂結(jié)構(gòu)的材料，再加上本身是以旋涂的方式來涂布在芯片的表面，因此稱這種液態(tài)介質(zhì)為“旋涂玻璃”。SOG是一種相當簡易的平坦化技術(shù)，因為介電層材料是以溶劑的形態(tài)覆蓋在硅片表面，因此SOG對高低起伏外觀的“溝填能力”非常好，可以避免純粹以CVD法制作介質(zhì)層時所面臨的孔洞問題。

如圖1所示，為現(xiàn)有技術(shù)用于旋涂玻璃的旋涂裝置的結(jié)構(gòu)圖，包括源瓶14、出液管道12、以及設(shè)置于出液管道12上的氣泡傳感器13，氣泡傳感器13設(shè)置在源瓶14外側(cè)的上端，安裝在八分之一英寸的出液管道12的上方，并且使得出液管道12穿過氣泡傳感器13，氣泡傳感器13便可以檢測到源瓶14中是否還有液體。當源瓶14中液位低于出液管道12的下端端口時，氣泡進入到出液管道12中，出液管道12中有氣泡產(chǎn)生，氣泡傳感器13在檢測到存在氣泡時出現(xiàn)報警，于是停止硅片工藝。

現(xiàn)有技術(shù)的缺點是：

當出現(xiàn)報警時，出液管道中已經(jīng)有氣泡，極易造成當前硅片涂花；另外，當瞬間出現(xiàn)氣泡時，氣泡傳感器不易感應(yīng)到，以至不能及時報警；

當報警后，后續(xù)的硅片將需要手動取出，更換液源后才可以繼續(xù)工藝，處理起來會非常繁瑣，并易造成硅片的人為劃傷。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)，解決了因為旋涂裝置的源瓶液位低于出液管道的下端端口時，不能及時報警或報警時已經(jīng)產(chǎn)生氣泡而導(dǎo)致硅片涂花的問題，且在需要換液時會減少人為因素導(dǎo)致的異常，同時也提高了生產(chǎn)效率。

本發(fā)明還提供一種用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)，包括源瓶以及出液管道，還包括：液位傳感器、開關(guān)電路和主機；

所述液位傳感器，設(shè)置在所述源瓶外能有效檢測源瓶內(nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且所述液位傳感器的設(shè)置高度與所述源瓶內(nèi)液面的報警高度相匹配；當所述液位傳感器檢測到所述源瓶內(nèi)液面的高度低于所述報警高度時，輸出信號給所述開關(guān)電路；

所述開關(guān)電路，連接所述液位傳感器和所述主機之間，將所述液位傳感器的輸出信號關(guān)傳送給所述主機；

所述主機，用于接收所述開關(guān)電路傳送的信號，觸發(fā)報警。

本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)的優(yōu)點：

本發(fā)明提供的用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)，在發(fā)出報警后，出液管道中實際上還有旋涂玻璃SOG液體，不會對當前硅片有影響；并且在安裝時將液位傳感器的設(shè)置高度與液位的報警高度相匹配，當檢測到所述源瓶內(nèi)液面的高度低于所述報警高度時，輸出信號給開關(guān)電路；再由開關(guān)電路將信號輸送給主機，進行報警，本發(fā)明在發(fā)出報警后，還可以工藝多片硅片，但出液管道中仍然不會有氣泡產(chǎn)生，這樣方便工程師處理故障，提高了設(shè)備利用率；本發(fā)明減少了手動取片可能導(dǎo)致的劃傷等問題，簡化了制備工藝，節(jié)約了設(shè)備和資材成本。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的SOG旋涂設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明系統(tǒng)實施例一的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明系統(tǒng)實施例一的系統(tǒng)控制電路圖；

圖4為本發(fā)明系統(tǒng)實施例二結(jié)構(gòu)剖面圖。

具體實施方式

本發(fā)明的目的在于，提供一種用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)，解決了因為旋涂裝置的源瓶液位低于出液管道的下端端口時，不能及時報警或報警時已經(jīng)產(chǎn)生氣泡而導(dǎo)致硅片涂花的問題，且在需要換液時會減少人為因素導(dǎo)致的異常，同時也提高了生產(chǎn)效率。

本發(fā)明提供一種用于旋涂設(shè)備的液位報警系統(tǒng)，包括源瓶以及出液管道，還包括：液位傳感器、開關(guān)電路和主機；

所述液位傳感器設(shè)置在所述源瓶外能有效檢測源瓶內(nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且所述液位傳感器的設(shè)置高度與所述源瓶內(nèi)液面的報警高度相匹配；當所述液位傳感器檢測到所述源瓶內(nèi)的液面高度低于所述報警高度時，輸出信號給所述開關(guān)電路；

所述開關(guān)電路連接所述液位傳感器和所述主機，將所述液位傳感器的輸出信號關(guān)傳送給所述主機；

所述主機用于接收所述開關(guān)電路傳送的信號，觸發(fā)報警。

優(yōu)選的，所述液位傳感器設(shè)置于固定在所述源瓶外部的連接支架上，所述連接支架與所述源瓶之間的距離在所述感應(yīng)距離內(nèi)。

較優(yōu)的，所述源瓶上設(shè)有固定板，所述連接支架一端與所述固定板連接，另一端與所述液位傳感器相連接。