[發(fā)明專利]一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110310338.3
• 申請(qǐng)日: 2011-10-13
• 公開（公告）號(hào): CN103041954A
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭亮;周華強(qiáng);徐峰;熊炳輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北大方正集團(tuán)有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號(hào): B05C11/00
• 分類號(hào): B05C11/00;H01L21/67;G01F23/22
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，包括源瓶以及出液管道，其特征在于，還包括：液位傳感器、開關(guān)電路和主機(jī)；

所述液位傳感器，設(shè)置在所述源瓶外能有效檢測(cè)源瓶?jī)?nèi)液位的感應(yīng)距離內(nèi)；且所述液位傳感器的設(shè)置高度與所述源瓶?jī)?nèi)液面的報(bào)警高度相匹配；當(dāng)所述液位傳感器檢測(cè)到所述源瓶?jī)?nèi)的液面高度低于所述報(bào)警高度時(shí)，輸出信號(hào)給所述開關(guān)電路；

所述開關(guān)電路，連接所述液位傳感器和所述主機(jī)，將所述液位傳感器的輸出信號(hào)傳送給所述主機(jī)；

所述主機(jī)用于接收所述開關(guān)電路傳送的信號(hào)，觸發(fā)報(bào)警。

2.如權(quán)利要求1所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器設(shè)置于固定在所述源瓶外部的連接支架上，所述連接支架與所述源瓶之間的距離在所述感應(yīng)距離內(nèi)。

3.如權(quán)利要求2所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述源瓶上設(shè)有固定板，所述連接支架一端與所述固定板連接，另一端與所述液位傳感器相連接。

4.如權(quán)利要求3所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述固定板卡套于所述源瓶瓶壁外側(cè)。

5.如權(quán)利要求1所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器設(shè)置于固定在所述源瓶外的底座上。

6.如權(quán)利要求5所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述底座高度可調(diào)。

7.如權(quán)利要求2或5所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器的設(shè)置高度比所述出液管道的下端端口高5mm～8mm。

8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器為電容式接近開關(guān)傳感器或電感式接近開關(guān)傳感器。

9.如權(quán)利要求1所述的用于旋涂設(shè)備的液位報(bào)警系統(tǒng)，其特征在于，所述開關(guān)電路包括繼電器，所述繼電器的輸出端與所述主機(jī)連接，其輸入端與所述主機(jī)的公共端連接，兩個(gè)電源端的一端接24V直流電壓，一端接所述液位傳感器的輸出端。