[發明專利]壓電振動片的制造方法、晶片、壓電振動器、振蕩器、電子設備及電波鐘

無效

• 申請號: 201110310148.1
• 申請日: 2011-09-30
• 公開（公告）號: CN102447448A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 有松大志
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;G04C9/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

1.一種壓電振動片的制造方法，形成具備由壓電材料構成的壓電板，以及在施加電壓時使所述壓電板振動的電極部的壓電振動片，該電極部由層疊于所述壓電板的外表面上并且圖案互不相同的多層電極膜構成，其特征在于：

具有在形成有所述壓電板的外形形狀的晶片形成所述電極部的電極形成工序，

該電極形成工序具有通過光刻技術在所述晶片形成所述多層電極膜的每一個的多個電極膜形成工序，

所述多個電極膜形成工序分別具有抗蝕圖案形成工序，在所述晶片涂敷抗蝕膜后，在所述晶片配置準備用于各電極膜的多個掩模部件之中的、準備用于在該電極膜形成工序中形成的一個電極膜的所述掩模部件，其后，隔著該掩模部件照射光，從而形成抗蝕圖案；

在該抗蝕圖案形成工序中，將在準備用于所述一個電極膜的所述掩模部件形成的掩模側標記，與在所述晶片形成的多個晶片側標記之中的與該掩模部件對應的所述晶片側標記對位，并且在所述晶片配置所述掩模部件；

所述掩模側標記由貫通所述掩模部件的露出開口構成，并且所述多個掩模部件的每一個中該露出開口的俯視形狀不同；

所述多個晶片側標記分別由凹部構成，該凹部的俯視形狀，以與該晶片側標記對應的所述掩模部件中的所述露出開口的俯視形狀相等的方式，在所述多個晶片側標記的每一個中不同；

所述抗蝕圖案形成工序，通過使所述凹部從所述露出開口露出，使所述掩模側標記對位到所述晶片側標記。

2.如權利要求1所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，

以使所述露出開口在所述掩模部件互相隔開間隔的方式形成一對所述掩模側標記；

以使所述凹部在所述晶片互相隔開間隔的方式分別形成一對所述多個晶片側標記；

所述露出開口的俯視形狀在一對露出開口相遠離的一個方向，以及沿著該掩模部件的表面且與所述一個方向正交的另一方向的兩個方向上非對稱。

3.如權利要求1或2所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，在所述抗蝕圖案形成工序中，在所述晶片上配置覆蓋部件，對于為所述一個電極膜用而準備的與所述掩模部件對應的所述晶片側標記中的所述凹部，用該覆蓋部件覆蓋，并涂敷抗蝕膜。

4.一種晶片，使用權利要求1到3的任一項所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，

形成有與所述多個掩模部件分別對應的多個晶片側標記；

該多個晶片側標記分別由凹部構成，該凹部的俯視形狀，以與該晶片側標記對應的所述掩模部件中的所述露出開口的俯視形狀相等的方式，在所述多個晶片側標記的每一個中不同。

5.一種壓電振動器，其特征在于，具備通過權利要求1至3的任一項所述的壓電振動片的制造方法制造的壓電振動片。

6.一種振蕩器，其特征在于，權利要求5所述的壓電振動器作為振子與集成電路電連接。

7.一種電子設備，其特征在于，權利要求5所述的壓電振動器與計時部電連接。

8.一種振蕩器，其特征在于，權利要求5所述的壓電振動器與濾波部電連接。