[發明專利]精密阻焊劑配準檢查方法

有效

• 申請號: 201110309672.7
• 申請日: 2011-10-13
• 公開（公告）號: CN102538669A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: M.L.德蘭尼
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/02;G01N21/64
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 呂曉章

技術領域

本發明一般涉及機器視覺檢查系統，尤其涉及檢查位于熒光材料內的工件特征的方法。

背景技術

精確機器視覺檢查系統(或簡稱“視覺系統”)可以用于獲得檢查對象的精確尺寸測量并且檢查各種其它對象的特性。這樣的系統可以包括計算機、照相機和光學系統，以及精確臺架(stage)，該精確臺架是在多個方向上可移動的，以允許照相機掃描正在檢查的工件的特征。市場上有售的一個示例性現有技術系統是來自位于Aurora，IL的Mitutoyo?America公司(MAC)的基于PC的視覺系統和軟件的QUICK系列。總地描述視覺系統和軟件的QUICK系列的特征和操作，例如，在2003年1月公開的QVPAK?3D?CNC?Vision?Measuring?Machine?User′s?Guide，以及1996年9月公開的Q?VPAK?3D?CNC?Vision?Measuring?Machine?Operation?Guide，其每一個以參考的方式全部結合于此。如QV-302Pro型號所例示的該產品例如能夠使用顯微鏡型光學系統來以各種放大倍率提供工件圖像，并且按照需要移動臺架以橫跨(traverse)超出任何單個視頻圖像的限制的工件表面。在這樣的系統的給定的期望放大倍率、測量分辨率，以及物理大小限制的情況下，單個視頻圖像典型地僅僅涵蓋正在觀察或者檢查的工件的一部分。

機器視覺檢查系統一般利用自動視覺檢查。美國專利第6,542,180(′80專利)教導這樣的自動視頻檢查的各個方面并且以參考的方式全部結合于此。如在′180專利中所教導的，自動視頻檢查計量儀器一般具有允許用戶為每個特定工件配置定義自動檢查事件序列的編程能力。這一點可以由以下實現：例如基于文本的編程；或通過記錄模式，或者通過兩種方法的組合，所述記錄模式存儲與用戶在圖形用戶界面的幫助下執行檢查操作序列對應的機器控制指令序列來逐步“學習”檢查事件序列。這樣的記錄模式通常稱作“學習模式”或“訓練模式”。一旦以“學習模式”定義檢查事件序列，則然后可以將這樣的序列用于在“運行模式”期間自動獲取(以及附加地分析或者檢查)工件的圖像。

一般將包括特定檢查事件序列的機器控制指令(即，如何獲取每個圖像以及如何分析/檢查每個獲取的圖像)存儲為對于具體工件配置特定的“部件加工程序(part?program)”或“工件程序(workpiece?program)”。例如，部件加工程序定義如何獲取每個圖像，諸如如何在什么照明等級、在什么放大倍率等級相對工件定位照相機，等等。另外，例如，通過使用諸如邊緣/邊界檢測視頻工具之類的一個或多個視頻工具，部件加工程序定義如何分析/檢查獲取的圖像。

視頻工具(或簡稱“工具”)以及其它圖形用戶界面特征可以手動地用于完成手動檢查和/或機器控制操作(以“手動模式”)。還可以在學習模式期間記錄它們的設置參數和操作，從而創建自動檢查程序或“部件加工程序”。視頻工具可以包括例如邊緣/邊界檢測工具、自動聚焦工具、形狀或者圖案匹配工具、尺寸測量工具等等。

機器視覺檢查系統的一種應用是對印刷電路板(PCB)進行檢查，其中，可以期望測量阻焊層中的圖案(pattern)和意圖暴露和/或由阻焊層絕緣(isolate)的導電特征之間的配準(registration)關系。用于測量阻焊劑配準的現有技術方法既不夠快、不夠精確，也不夠魯棒，以可靠地滿足對當前或未來一代PCB技術中出現的日益增加的小的特征的檢查需求。一些阻焊劑包括熒光材料。一些已知機器視覺檢查系統能夠用不引起熒光工件特征發熒光的光和引起熒光工件特征發熒光的光來進行成像。例如，U.S.專利第5,039,868(′868專利)公開了這樣的檢查系統。然而，′868專利一般涉及印刷電路板上特征的圖案識別，并且沒有解決以下問題：聚焦操作和用于對由阻焊層和/或有關邊緣間隔等遮蔽(obscure)的工件特征邊緣位置生成高分辨率和高可重復測量的手段，這可能需要用10微米級或者更小的精度來測量。將期望改進與用于定位意圖被暴露和/或被熒光材料層(諸如阻焊層之類)絕緣的特征有關的檢查方法。

發明內容

提供該發明內容，從而以簡化形式引入在下面的具體實施例中進一步詳細描述的構思的選擇。該發明內容不意圖標識要求保護的主題的關鍵特征，也不意圖用作幫助確定要求保護的主題的范圍。