[發明專利]精密阻焊劑配準檢查方法

有效

• 申請號: 201110309672.7
• 申請日: 2011-10-13
• 公開（公告）號: CN102538669A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: M.L.德蘭尼
• 申請（專利權）人: 株式會社三豐
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/02;G01N21/64
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 呂曉章

1.一種操作機器視覺檢查系統以確定用于獲取熒光圖像的熒光成像高度的方法，所述熒光圖像用于重復地確定位于工件上的熒光材料層內的工件特征邊緣的位置，該方法包括：

(a)定位工件表面的暴露部分，使得可以通過機器視覺檢查系統確定其高度，其中，暴露部分沒有被熒光材料層覆蓋并且相對于熒光材料層內的高度具有沿著聚焦軸的特性表面高度；

(b)配置機器視覺檢查系統，以確定暴露部分的高度；

(c)確定暴露部分的高度；

(d)確定要用于對位于熒光材料層內的工件特征邊緣進行熒光成像的熒光成像高度，其中，與確定的暴露部分的高度相關地確定熒光成像高度；以及

執行(e)和(f)中的至少一個，其中(e)包括：

(e)與部件加工程序相關聯地存儲所確定的熒光成像高度，供稍后在獲取用于檢查位于熒光材料層內的工件特征邊緣的熒光圖像時使用，

以及(f)包括：

(f)當獲取用于檢查位于熒光材料層內的工件特征邊緣的熒光圖像時，在執行部件加工程序期間使用與所確定的暴露部分的高度相關地確定的熒光成像高度。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述工件是代表性工件并且與機器視覺檢查系統的學習模式操作相關聯地執行該方法，其用于創建要用于檢查與所述代表性工件類似的工件的部件加工程序，并且方法包括執行步驟(a)、(b)、(c)、(d)和(e)。

3.如權利要求2所述的方法，還包括：

(g)在機器視覺檢查系統的視場內定位位于熒光材料層內的工件特征邊緣；

(h)在確定的熒光成像高度處定位機器視覺檢查系統；

(i)使用引起熒光材料發熒光并且輸出熒光成像光的激發波長分布來照射視場；

(j)在使用激發波長分布照射視場的同時，使用熒光成像高度來獲取視場的熒光圖像；以及

(k)基于熒光圖像中對應的強度改變的位置確定位于熒光材料內的工件特征邊緣的位置。

4.如權利要求3所述的方法，其中，步驟(k)包括：配置機器視覺檢查系統的邊緣檢測視頻工具的參數，以及使用該邊緣檢測視頻工具以便確定代表性工件上的工件特征邊緣的位置，并且該方法還包括：

(l)與所述部件加工程序相關聯地存儲所配置的邊緣檢測視頻工具的參數，供稍后用于確定與代表性工件類似的工件的熒光圖像中的工件特征邊緣的位置。

5.如權利要求1所述的方法，其中，通過執行部件加工程序來與機器視覺檢查系統的運行模式操作相關聯地執行所述方法，所述部件加工程序包括檢查位于與用于創建部件加工程序的代表性工件類似的工件上的熒光材料內的工件特征邊緣，并且所述方法包括執行步驟(a)、(b)、(c)、(d)和(f)，其中，在確定用于工件特征邊緣的熒光成像的熒光成像高度的步驟(d)中包括：調用與該工件特征邊緣相關聯地存儲在所述部件加工程序中的熒光成像高度信息，以及基于該信息確定熒光成像高度。

6.如權利要求5所述的方法，包括：

(g)在機器視覺檢查系統的視場中定位位于熒光材料層內的工件特征邊緣；

(h)在所確定的熒光成像高度處定位機器視覺檢查系統；

(i)使用引起熒光材料發熒光并且輸出熒光成像光的激發波長分布來照射視場；

(j)在使用激發波長分布照射視場的同時，使用熒光成像高度獲取視場的熒光圖像；以及

(k)基于熒光圖像中對應強度改變的位置確定位于熒光材料內的工件特征邊緣的位置。

7.如權利要求6所述的方法，其中，步驟(k)包括：根據存儲在部件加工程序中的相關聯的參數來配置機器視覺檢查系統的邊緣檢測視頻工具，并且使用該邊緣檢測視頻工具以便在熒光圖像中確定工件特征邊緣的位置。

8.如權利要求6所述的方法，還包括：

(l)確定熒光材料層的邊緣位置；以及

(m)確定熒光材料層的層邊緣的位置和位于熒光材料層內的工件特征邊緣的位置之間的尺寸關系的測量。

9.如權利要求8所述的方法，其中，

熒光材料層的邊緣是在步驟(j)中獲取的視場的熒光圖像中包括的邊緣；以及

在步驟(1)中，確定熒光材料層的邊緣位置包括：在步驟(j)中獲取的熒光圖像中定位熒光材料層的邊緣。