[發明專利]噴淋頭清洗裝置

無效

• 申請號: 201110305184.9
• 申請日: 2011-10-10
• 公開（公告）號: CN103028560A
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 葉芷飛;梁秉文
• 申請（專利權）人: 光達光電設備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;C23C16/455
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種噴淋頭清洗裝置，用于對噴淋頭的表面進行清洗，其特征在于，包括：清洗刷，具有刷毛；

清洗刷機械手，用于夾持和移動清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能夠與

噴淋頭的表面進行相對運動，利用該相對運動清洗噴淋頭的表面；

吸附裝置，用于吸附清洗過程中的污染物。

2.如權利要求1所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為全自動控制方式，還包括：

機械手控制單元，用于控制所述清洗刷機械手，調整所述清洗刷機械手與所述噴淋頭的表面的相對運動的軌跡和速度。

3.如權利要求2所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述機械手控制單元包括：

動力單元，用于提供動力，該動力使得所述清洗刷機械手和/或清洗刷能夠與所述噴淋頭的表面進行相對運動；

傳動單元，一段與所述動力單元相連接，用于接收來自動力單元的動力，另一端與所述清洗刷機械手相連接，將動力傳動至所述清洗刷機械手和/或清洗刷；

子控制單元，用于控制所述動力單元、傳動單元，通過所述動力單元、傳動單元控制所述清洗刷機械手和/或清洗刷的運動；

所述噴淋頭清洗裝置用于沉積設備，所述沉積設備包括：手套箱、傳輸腔室和裝載卸載腔室，所述噴淋頭位于所述手套箱內，所述手套箱與所述傳輸腔室和/或裝載卸載腔室相連通；所述清洗刷和清洗刷機械手位于所述手套箱內、傳輸腔室內、裝載卸載腔室內或手套箱外；

在沉積工藝完成后，所述子控制單元控制所述傳動單元和動力單元將所述清洗刷和清洗刷機械手移動至與所述噴淋頭的表面相對的位置，或所述子控制單元控制所述噴淋頭移動至噴淋頭的表面與所述清洗刷相對的位置，利用所述清洗刷對所述噴淋頭的表面進行清洗；在噴淋頭的清洗完成后，所述子控制單元還可用于控制所述噴淋頭的表面與所述清洗刷分離，將所述清洗刷和清洗刷機械手放置于手套箱內、手套箱外、裝載卸載腔室或傳輸腔室中。

4.如權利要求3所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，還包括：

圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；

圖像分析單元，用于對所述圖像采集單元采集到的圖像進行分析，判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況；

反饋單元，用于根據圖像分析單元的分析結果，獲得控制信號，所述控制信號作為所述子控制單元的調整所述清洗刷機械手和清洗刷的相對運動的依據。

5.如權利要求1所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為半自動控制方式，還包括：動力單元、傳動單元；

所述動力單元用于提供動力，該動力使得所述清洗刷和/或刷毛能夠進行轉動；

所述傳動單元的一端與所述動力單元相連接，用于接收來自動力單元的動力，另一端與所述清洗刷機械手相連接，將該動力傳動至所述清洗刷機械手和/或清洗刷；

所述沉積設備包括：手套箱、傳輸腔室和裝載卸載腔室，所述噴淋頭位于所述手套箱內，所述手套箱與所述傳輸腔室和/或裝載卸載腔室相連通；所述清洗刷清洗裝置位于所述手套箱內、傳輸腔室內、裝載卸載腔室內或手套箱外；

在沉積工藝完成后，操作人員控制所述傳動單元和動力單元將所述清洗刷和清洗刷機械手移動至與所述噴淋頭的表面相對的位置，或操作人員控制所述噴淋頭移動至噴淋頭的表面與所述清洗刷相對的位置，利用所述清洗刷對所述噴淋頭的表面進行清洗；在清洗完成后操作人員控制所述噴淋頭的表面與所述清洗刷分離，將所述清洗刷和清洗刷機械手放置于手套箱內、手套箱外、裝載卸載腔室或傳輸腔室中。

6.如權利要求5所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述傳動單元與所述清洗刷機械手相連接的部分為剛性結構，所述剛性結構用于操作人員手持，所述傳動單元的與所述動力單元相連接的部分為柔性結構，使得所述傳動單元能夠帶動所述清洗刷與所述噴淋頭的表面進行相對運動。

7.如權利要求6所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，還包括：

圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；

顯示單元，用于將圖像采集單元采集的圖像顯示，操作人員根據顯示單元的圖像，調整所述清洗刷機械手和清洗刷的相對運動。