[發(fā)明專利]圖案形成裝置及圖案形成方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110302788.8
• 申請(qǐng)日: 2011-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102694061A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 真田雅和;巖島正信;古市考次
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 隆天國(guó)際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

1.一種圖案形成裝置，其特征在于，

具有：

基板保持裝置，保持基板，

第一嘴體，列狀地排列配置有多個(gè)第一噴出口，所述多個(gè)第一噴出口分別噴出含有用于形成圖案的材料的涂敷液，

第二嘴體，具有噴出所述涂敷液的第二噴出口，

移動(dòng)裝置，使所述第一嘴體沿著與所述第一噴出口的排列方向垂直的掃描移動(dòng)方向相對(duì)于所述基板移動(dòng)，并且使所述第二嘴體沿著所述掃描移動(dòng)方向，以所述第二噴出口在所述排列方向上通過(guò)所有所述第一噴出口的外側(cè)的方式相對(duì)于所述基板移動(dòng)；

從所述第一噴出口噴出所述涂敷液的時(shí)刻和從所述第二噴出口噴出所述涂敷液的時(shí)刻不同。

2.如權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置使所述第一嘴體以與從所述第一噴出口噴出所述涂敷液的動(dòng)作同步的方式相對(duì)于所述基板移動(dòng)，另一方面，所述移動(dòng)裝置使所述第二嘴體以與從所述第二噴出口噴出所述涂敷液的動(dòng)作同步的方式相對(duì)于所述基板移動(dòng)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的圖案形成裝置，其特征在于，能夠改變所述第二嘴體的所述第二噴出口在所述排列方向上的位置。

4.如權(quán)利要求3所述的圖案形成裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置能夠根據(jù)所述第二噴出口在所述排列方向上的位置設(shè)定，來(lái)改變所述第二嘴體在所述掃描移動(dòng)方向上相對(duì)于所述基板的相對(duì)移動(dòng)量。

5.如權(quán)利要求1或2所述的圖案形成裝置，其特征在于，具有所述第二噴出口的位置在所述排列方向上互不相同的多個(gè)所述第二嘴體。

6.如權(quán)利要求3所述的圖案形成裝置，其特征在于，在所述第一嘴體的所述排列方向上的兩側(cè)設(shè)置有一對(duì)所述第二噴出口。

7.如權(quán)利要求6所述的圖案形成裝置，其特征在于，

一對(duì)所述第二噴出口設(shè)置在關(guān)于所述第一噴出口的列對(duì)稱的位置，

所述移動(dòng)裝置使一對(duì)所述第二噴出口相對(duì)于所述基板一體地移動(dòng)。

8.如權(quán)利要求6所述的圖案形成裝置，其特征在于，從貯存有所述涂敷液的同一個(gè)涂敷液貯存部分別向一對(duì)所述第二噴出口供給所述涂敷液。

9.如權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，從貯存有所述涂敷液的同一個(gè)涂敷液貯存部分別向所述多個(gè)第一噴出口供給所述涂敷液。

10.如權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，

所述第一嘴體及所述第二嘴體在所述掃描移動(dòng)方向上的位置被固定，

所述移動(dòng)裝置通過(guò)使保持有所述基板的所述基板保持裝置移動(dòng)，來(lái)使所述第一嘴體及所述第二嘴體相對(duì)于所述基板移動(dòng)。

11.一種圖案形成方法，將含有用于形成圖案的材料的涂敷液涂敷在基板上來(lái)形成圖案，其特征在于，

具有：

第一工序，使列狀排列配置有分別噴出所述涂敷液的多個(gè)第一噴出口的第一嘴體，沿著與所述第一噴出口的排列方向垂直的掃描移動(dòng)方向相對(duì)于所述基板移動(dòng)，由此形成與所述多個(gè)第一噴出口相對(duì)應(yīng)的多個(gè)線條狀圖案，

第二工序，使具有噴出所述涂敷液的第二噴出口的第二嘴體，沿著所述掃描移動(dòng)方向，以所述第二噴出口在所述排列方向上通過(guò)所有所述第一噴出口的外側(cè)的方式相對(duì)于所述基板移動(dòng)，由此形成線條狀圖案；

使從所述第一噴出口噴出所述涂敷液的時(shí)刻與從所述第二噴出口噴出所述涂敷液的時(shí)刻不同。