[發(fā)明專利]線性馬達(dá)及載物臺(tái)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110301771.0
• 申請(qǐng)日: 2011-10-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102447375A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 星俊行;渡邊賢司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社安川電機(jī)
• 主分類號(hào): H02K41/03
• 分類號(hào): H02K41/03
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 周善來(lái);李雪春

技術(shù)領(lǐng)域

所公開(kāi)的實(shí)施方式涉及一種線性馬達(dá)及載物臺(tái)裝置。

背景技術(shù)

以往，提出有能夠用1臺(tái)線性馬達(dá)進(jìn)行X軸及Y軸的2軸方向驅(qū)動(dòng)的線性馬達(dá)(例如參照日本國(guó)特開(kāi)2010-74976號(hào)公報(bào))。

該線性馬達(dá)具備：場(chǎng)磁鐵，具有第1磁鐵陣列及第2磁鐵陣列；及電樞，在與場(chǎng)磁鐵的第1磁鐵陣列相對(duì)的位置上配置第1電樞繞組陣列，同時(shí)在與場(chǎng)磁鐵的第2磁鐵陣列相對(duì)的位置上配置第2電樞繞組陣列。第1磁鐵陣列通過(guò)在場(chǎng)磁鐵所具有的2個(gè)平板狀磁軛的內(nèi)側(cè)，沿X軸方向配置多列相對(duì)配置的一對(duì)第1磁鐵而構(gòu)成。而且，第2磁鐵陣列通過(guò)在第1磁鐵陣列的Y軸方向一側(cè)(軛鐵開(kāi)口側(cè))，沿Y軸方向配置2列相對(duì)配置的一對(duì)第2磁鐵而構(gòu)成。

在上述現(xiàn)有技術(shù)的構(gòu)成中，在馬達(dá)的大小被限定時(shí)，場(chǎng)磁鐵的第1磁鐵陣列與第2磁鐵陣列的位置靠近，基于第1磁鐵陣列的X軸驅(qū)動(dòng)用磁場(chǎng)與基于第2磁鐵陣列的Y軸驅(qū)動(dòng)用磁場(chǎng)有可能會(huì)相互干涉。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種線性馬達(dá)及載物臺(tái)裝置，能夠抑制XY軸的各軸驅(qū)動(dòng)用磁場(chǎng)相互干涉。

本實(shí)施方式的線性馬達(dá)，是具備場(chǎng)磁鐵和電樞，將所述場(chǎng)磁鐵和所述電樞的任意一方作為動(dòng)子，將另一方作為定子，可使所述動(dòng)子沿X軸方向及與其正交的Y軸方向移動(dòng)的線性馬達(dá)，其特征在于，所述場(chǎng)磁鐵具有：相對(duì)配置的2個(gè)平板狀磁軛；軛鐵基座，設(shè)置在所述磁軛的所述Y軸方向一側(cè)端部上；第1磁鐵陣列，沿所述X軸方向配置有多列設(shè)置在所述磁軛內(nèi)側(cè)且相對(duì)配置的極性不同的一對(duì)第1磁鐵；及第2磁鐵陣列，沿所述Y軸方向配置有一列設(shè)置在所述磁軛內(nèi)側(cè)的所述第1磁鐵陣列的所述Y軸方向一側(cè)或另一側(cè)且相對(duì)配置的極性不同的一對(duì)第2磁鐵，所述電樞具有：第1電樞繞組，配置在與所述第1磁鐵陣列相對(duì)的位置上；及第2電樞繞組，配置在與所述第2磁鐵陣列相對(duì)的位置上。

在本申請(qǐng)第1發(fā)明的線性馬達(dá)中，場(chǎng)磁鐵具有：第1磁鐵陣列，沿X軸方向配置有多列在2個(gè)平板狀磁軛內(nèi)側(cè)相對(duì)配置的一對(duì)第1磁鐵；及第2磁鐵陣列，沿Y軸方向配置有一列設(shè)置在該第1磁鐵陣列的Y軸方向一側(cè)或另一側(cè)且相對(duì)配置的一對(duì)第2磁鐵。在第1磁鐵陣列中，通過(guò)沿X軸方向以極性交替相反的方式配置一對(duì)第1永久磁鐵，而由相鄰的兩對(duì)第1永久磁鐵彼此形成磁場(chǎng)的閉環(huán)，從而能夠利用由第1磁鐵陣列和第1電樞繞組生成的電磁力在X軸方向上驅(qū)動(dòng)電樞。而且，在設(shè)置于第1磁鐵陣列的Y軸方向一側(cè)或另一側(cè)的第2磁鐵陣列中，由一對(duì)第2永久磁鐵和設(shè)置在磁軛的Y軸方向一側(cè)端部上的軛鐵基座形成磁場(chǎng)的閉環(huán)，從而能夠利用由第2磁鐵陣列和第2電樞繞組生成的電磁力在Y軸方向上驅(qū)動(dòng)電樞。

如此，通過(guò)構(gòu)成為沿Y軸方向僅配置一列的一對(duì)第2磁鐵，與沿Y軸方向配置兩列的一對(duì)第2磁鐵，由第2磁鐵彼此形成磁場(chǎng)閉環(huán)的結(jié)構(gòu)相比，第2磁鐵的Y軸方向的列數(shù)變少，因此，能夠使第1磁鐵陣列和第2磁鐵陣列的位置遠(yuǎn)離。由此，能夠抑制基于第1磁鐵陣列的X軸驅(qū)動(dòng)用磁場(chǎng)與基于第2磁鐵陣列的Y軸驅(qū)動(dòng)用磁場(chǎng)相互干涉。其結(jié)果，可防止因磁場(chǎng)的相互干涉而使各軸的漏磁通增大而導(dǎo)致馬達(dá)常數(shù)降低。而且，可防止因磁場(chǎng)的相互干涉而使各軸的氣隙磁通密度產(chǎn)生不均而導(dǎo)致推力波動(dòng)、側(cè)向力增加。因而，不會(huì)對(duì)搭載馬達(dá)的裝置的各種性能產(chǎn)生不良影響，可提高馬達(dá)的可靠性。

附圖說(shuō)明

圖1表示本實(shí)施方式的線性馬達(dá)的整體示意結(jié)構(gòu)，是基于沿與X軸方向正交的方向的截面的線性馬達(dá)的橫截面圖。

圖2是表示場(chǎng)磁鐵的整體示意結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖2(a)是基于圖2(b)中IIA-IIA截面的場(chǎng)磁鐵的橫截面圖，圖2(b)是沿與X軸方向正交的方向觀察場(chǎng)磁鐵的側(cè)視圖。

圖3是表示電樞的整體示意結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖3(a)是基于圖3(b)中IIIA-IIIA截面的電樞的橫截面圖，圖3(b)是沿與X軸方向正交的方向觀察電樞的側(cè)視圖。

圖4是表示對(duì)比例中的場(chǎng)磁鐵的整體示意結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖4(a)是基于圖4(b)中IVA-IVA截面的對(duì)比例中的場(chǎng)磁鐵的橫截面圖，圖4(b)是沿與X軸方向正交的方向觀察對(duì)比例中的場(chǎng)磁鐵的側(cè)視圖。

圖5是表示電樞在與場(chǎng)磁鐵的關(guān)系中從圖1所示的位置相對(duì)地向Y軸方向一側(cè)移動(dòng)時(shí)的第2繞組邊端部與第2磁鐵陣列的距離的說(shuō)明圖。

圖6在將第2磁鐵陣列設(shè)置在第1磁鐵陣列的Y軸方向另一側(cè)的變形例中表示線性馬達(dá)的整體示意結(jié)構(gòu)，是基于沿與X軸方向正交的方向的截面的線性馬達(dá)的橫截面圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。