[發明專利]紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法

無效

• 申請號: 201110297963.9
• 申請日: 2011-09-30
• 公開（公告）號: CN102507144A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 陶春先;姜霖;張大偉;黃元申;倪爭技;莊松林
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海東創專利代理事務所(普通合伙) 31245
• 代理人: 寧芝華

技術領域

本發明涉及一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法。

背景技術

變頻效率是衡量很多器件的重要參數，變頻效率或稱變頻效率QE(Quantum?Efficiency)，傳統的對變頻效率的測試方法，采用對每一個入射的光子所能產生和收集的電子數來計算，需要把經過反射損失而不能透射到硅片的光子、光電轉化、電子和光子的傳輸效率的變化、轉化電流的效率等考慮進去。例如由電子科技集團44研究所提供的512×512面陣CCD中電荷信號由AOpin輸出。CCD收集的電子注入到電荷放大器，經該放大器讀出由光子產生的電流，輸出電壓引腳AOpin應當連接上-18V的電源以導走電流放大器的輸入門電路的電流。因此，通過測量流過輸出引腳AOpin的電流就可以計算出CCD由于光照收集到的電子數目。在輸出引腳AOpin和-18V之間接入1M歐的導通電阻，輸出電壓經該電阻后產生衰減，測量流經該電阻的電流或者電壓即可計算量子效率QE，為了方便計算，CCD設置為TDI模式，即CCD產生的電荷包通過恒定的傳輸頻率從一個線陣列轉移到下一個線陣列。同時，不能讓CCD傳感器進入到飽和狀態，因為進入到飽和狀態產生的電荷包中就有電荷丟失，因為難以，從而使計算不準確。

發明內容

本發明公開了一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法，通過采用直接對功率進行測量的方式，省去了光電轉換這一環節，可以有效克服現有技術對紫外增強膜變頻效率測試方法測量精度不高的弊端，本發明技術方案基于對準確性、操作性、穩定性等方面進行綜合性技術考慮，所采用的測試方法，不僅大大減小了誤差，有效提高了測量的準確性，而且操作方便，穩定性強。

一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法：其特點是：

A)變頻效率是反映熒光粉或熒光粉薄膜發光效率的一個物理量，在對紫外變頻方面而言變頻效率定義為薄膜表面發生波長轉換的紫外光子數與入射到薄膜的紫外光子數之比，也可以定義為光能量或光功率之比，此處定義為紫外光子數之比：

CE=PhotonsemittedPhotonsincident---(1)]]>

CE表示為變頻效率，Photons_emitted表示入射到薄膜表面的紫外光子數，Photons_incident表示薄膜表面發射出的可見光子數；

B)由公式：Photonsincident=Pin×λUVhc---(2)]]>計算出薄膜表面入射紫外修正光子數Photons_incident，其中P_in為光功率計示數，λ_UV為紫外光波長，h為普朗克常量，c為光速；

C)但是對于出射光子數，由于受激發射的光子具有各向同性特性，即發射光并不循著入射光的方向，而只是部分地進入光功率計，所以在計算薄膜表面發射出的可見光子數時，需要考慮未被光功率計測量到的那部分光子數，有很多未探測到的光子，故引入立體角修正因子SA_correction；