[發明專利]晶棒定位裝置輸出軸機構

有效

• 申請號: 201110295589.9
• 申請日: 2011-09-30
• 公開（公告）號: CN102321912A
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發明（設計）人: 楊永錄;葛亮;賀賢漢
• 申請（專利權）人: 上海漢虹精密機械有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 上海德昭知識產權代理有限公司 31204
• 代理人: 繆利明

技術領域

本發明涉及CZ法拉制單晶棒設備部件，特別是一種晶棒定位裝置輸出軸機構。

背景技術

現有生產領域使用的硅單晶爐，一般是單個上爐筒及拉晶系統，零部件數量繁多且不易加工制造，還會導致晶棒直接暴露在空氣中容易氧化污染，所以上爐筒下方配備了獨立的隔離閥。業內目前通常的做法是在硅單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，同時也不能晶棒進行有效地定位。

發明內容

本發明的目的在于提供一種結構緊湊，零部件數量少且容易加工制造，可實現晶棒有效定位的晶棒定位裝置輸出軸機構。

本發明晶棒定位裝置輸出軸機構，包括：輸出軸，在所述輸出軸的一端設有銅螺母；接近傳感器，所述接近傳感器設置在所述輸出軸的外側；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端與所述輸出軸的一端連接；密封裝置，所述密封裝置與所述滑移柱塞的另外一端連接。

所述滑移柱塞為中空的設計，在所述滑移柱塞內設有彈簧。在所述彈簧的外側設有銅螺母防轉導槽。在所述滑移柱塞相對于與所述輸出軸連接端的另外一端上設有石墨耳座。所述密封裝置包括套杯以及設置在所述套杯一端的夾緊銷。在所述套杯設有所述夾緊銷的一端的內壁上設有平板防轉導槽。所述接近傳感器通過防滑平板與所述輸出軸連接。在所述套杯及所述滑移柱塞的外側表面設有O形密封圈。

本發明晶棒定位裝置輸出軸機構摒棄了原先硅單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，利用設置在上爐筒外側的減速器組件可實現晶棒有效定位，并且結構緊湊，零部件數量少且容易加工制造。

附圖說明

圖1為本發明晶棒定位裝置輸出軸機構結構爆炸示意圖；

本發明晶棒定位裝置輸出軸機構附圖中附圖標記說明：

1-輸出軸??????2-滑移柱塞?????3-彈簧

4-銅螺母??????5-接近傳感器???6-銅螺母防轉導槽

7-石墨耳座????8-平板防轉導槽?9-防滑平板

10-O形密封圈??11-套杯????????12-夾緊銷

具體實施方式

下面結合附圖對本發明晶棒定位裝置輸出軸機構4作進一步詳細說明。

如圖1所示，本發明晶棒定位裝置輸出軸機構，輸出軸1的輸出端為一段螺紋，螺紋部位裝有銅螺母4，銅螺母4外緣的方形耳與滑移柱塞2的矩形銅螺母防轉導槽6配合限制銅螺母4在滑移柱塞2中的轉動，銅螺母4前進時首先推壓經過預壓的彈簧3，彈簧3的預壓力克服滑動摩擦推動滑移柱塞2在套杯11中做直線平移。防滑平板9通過螺釘與滑移柱塞10作剛性聯接，防滑平板9外緣方耳與套杯8的矩形平板防轉導槽8相配合限制滑移柱塞2在套杯11中的轉動。

在滑移柱塞2的前端固定有石墨耳座7，定位時石墨耳座7和高溫晶棒發生接觸。基于高溫和不對高溫晶棒造成金屬污染的考慮，石墨耳座7選材石墨。在密封裝置靠近滑移柱塞2一端的外側設置有夾緊銷12。

石墨耳座7和晶棒接觸，單晶爐原有LCR系統能夠立即檢測到晶棒接地，此時PLC要求直流減速電機停止轉動，滑移柱塞2停止進給。能夠把銅螺母4進給力傳遞給滑移柱塞2的彈簧3，可以緩沖直流減速電機的過沖運動，保護晶棒只受和彈簧3壓縮力相等的定位力。在套杯11的外部裝有接近傳感器5，當滑移柱塞2回退時，可以檢測到防滑平板9得接近，電氣控制發指令，直流減速電機停止，滑移柱塞2停止回退。

本發明晶棒定位裝置輸出軸機構摒棄了原先硅單晶爐在上爐筒下方開口處配備了晶棒晶棒定位組件，利用設置在上爐筒外側的減速器組件可實現晶棒有效定位，并且結構緊湊，零部件數量少且容易加工制造。

以上已對本發明創造的較佳實施例進行了具體說明，但本發明并不限于實施例，熟悉本領域的技術人員在不違背本發明創造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請的范圍內。