[發明專利]晶棒定位裝置輸出軸機構有效
| 申請號： | 201110295589.9 | 申請日： | 2011-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN102321912A | 公開（公告）日： | 2012-01-18 |
| 發明（設計）人： | 楊永錄;葛亮;賀賢漢 | 申請（專利權）人： | 上海漢虹精密機械有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海德昭知識產權代理有限公司 31204 | 代理人： | 繆利明 |
| 地址： | 200444 上海市寶*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 定位 裝置 輸出 機構 | ||
【權利要求書】：
1.晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，包括：
輸出軸，在所述輸出軸的一端設有銅螺母；
接近傳感器，所述接近傳感器設置在所述輸出軸的外側；
滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端與所述輸出軸的一端連接；
密封裝置，所述密封裝置與所述滑移柱塞的另外一端連接。
2.根據權利要求1所述的晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，所述滑移柱塞為中空的設計，在所述滑移柱塞內設有彈簧。
3.根據權利要求2所述的晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，在所述彈簧的外側設有銅螺母防轉導槽。
4.根據權利要求2所述的晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，在所述滑移柱塞相對于與所述輸出軸連接端的另外一端上設有石墨耳座。
5.根據權利要求1所述的晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，所述密封裝置包括套杯以及設置在所述套杯一端的夾緊銷。
6.根據權利要求5所述的晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，在所述套杯設有所述夾緊銷的一端的內壁上設有平板防轉導槽。
7.根據權利要求1所述的晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，所述接近傳感器通過防滑平板與所述輸出軸連接。
8.根據權利要求4或5所述的晶棒定位裝置輸出軸機構，其特征在于，在所述套杯及所述滑移柱塞的外側表面設有O形密封圈。
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