[發明專利]高頻交流電加熱技術應用于ZnO基底電化學微加工方法有效
| 申請號： | 201110292797.3 | 申請日： | 2011-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN102431954A | 公開（公告）日： | 2012-05-02 |
| 發明（設計）人： | 湯儆;杜琳;肖孝建;吳挺 | 申請（專利權）人： | 福州大學 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 福州元創專利商標代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡學俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高頻 交流電 加熱 技術 應用于 zno 基底 電化學 加工 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種高頻交流電加熱技術應用于ZnO基底電化學微加工方法，其特征在于，包括以下步驟：
??步驟1：提供含有NaNO2的蝕溶液；
??步驟2：提供一高頻交流電升溫裝置和一掃描化學顯微鏡，將所述高頻交流電升溫裝置的加熱微電極固定在該掃描化學顯微鏡上；
??步驟3：將合成ZnO的納米線或薄膜作為微加工的基底置于所述蝕溶液中，利用掃描電化學顯微鏡的逼近裝置，使所述加熱微電極接近ZnO基底，然后調節加熱微電極的溫度，從而對ZnO基底進行微加工。
2.根據權利要求1所述的高頻交流電加熱技術應用于ZnO基底電化學微加工方法，其特征在于：所述的蝕溶液的NaNO2濃度為0.04mol/L~1?mol/L。
3.根據權利要求1所述的高頻交流電加熱技術應用于ZnO基底電化學微加工方法，其特征在于：所述的高頻交流電升溫裝置包括一高頻信號發生器，通過該高頻信號發生器調節輸出頻率以控制加熱微電極的溫度。
4.根據權利要求3所述的高頻交流電加熱技術應用于ZnO基底電化學微加工方法，其特征在于：所述的輸出頻率范圍為：10~2000MHz。
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