[發明專利]一種硅片多線切割斷線檢測的方法

有效

• 申請號: 201110292053.1
• 申請日: 2011-09-29
• 公開（公告）號: CN102343632A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 王學軍;吳旭
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;G01R31/02
• 代理公司: 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100
• 代理人: 李志民

技術領域

????本發明屬于測定和控制技術領域，涉及一種利用計算機技術檢測和控制硅片切割技術，具體涉及一種硅片多線切割斷線檢測的方法。

背景技術

多線切割機具有批量、多片切割太陽能硅片的功能，適合于對125×125mm太陽能單晶硅片的批量切割生產。隨著硅片切割技術的迅速發展，對硅片的切割質量要求越來越高，在生產過程中要求切割硅片邊緣崩邊小、?TTV值波動范圍小、表面粗糙度高和不能有明顯的切割線痕，以減少后續清洗和印刷的破損率。由于多線切割機為批量切割，切割過程的斷線會造成硅片的大量破損或產生明顯線痕。太陽能硅片技術的發展需要多線切割機性能可靠、操作方便、斷線率低。多線切割斷線檢測方法和設備是多線切割機的核心技術，為實現上述要求，需要張力區斷線檢測和切割區斷線檢測相結合的檢測方法

授權公告號為CN201979616U的中國實用新型專利公開一種“多線切割斷線檢測裝置”，該專利“包括檢測控制器，所述短線控制器分別通過一對電刷與多線切割設備的放線輥和收線輥的轉輥電連接，每對電刷在所述轉軸的軸向錯開設置。”。該專利技術減少了轉軸的磨損，但是沒有張力區斷線檢測和切割區斷線檢測相結合，也沒有實現計算機程序化測定。

發明內容

為克服現有技術的不足，本發明提供一種硅片多線切割斷線檢測的方法，通過計算機程序化控制，使張力區斷線檢測和切割區斷線檢測相結合，提高多線切割斷線檢測的準確性和可靠性。

本發明硅片多線切割斷線檢測的方法，利用斷線檢測控制系統進行檢測，斷線檢測控制系統包括斷線檢測控制單元、放線信號端子、收線信號端子和檢測桿。斷線檢測控制單元由主控計算機和數字量I/O采集卡構成。放線信號端子位于放線輪，收線信號端子位于收線輪，檢測桿分別位于兩個軸輥的兩側。主控計算機通過數字量I/O采集卡的相應端口分別與放線信號端子、收線信號端子和檢測桿連接。檢測步驟如下：

⑴向放線信號端子施加信號電壓；

⑵檢測收線信號端子是否收到信號電壓，如果收線信號端子沒有收到信號電壓，則放線輪停止旋轉并且報警；?

⑶如果收到信號電壓則返回步驟⑴；

⑷檢測檢測桿是否產生信號電壓，如果產生信號電壓，則放線輪停止旋轉并且報警；

⑸如果檢測桿沒有產生信號電壓，則返回步驟⑴。

信號電壓為+5V，不排除其它級別的信號電壓。

本發明由主控計算機和數字量I/O采集卡構成的斷線檢測控制單元，采用VisualC++語言編制斷線檢測控制程序，主控計算機通過控制軟件，通過數字量數字量I/O采集卡實時采集I/O信號，在放線輪的放線信號端子施加+5V信號電壓，通過在收線輪的收線信號端子實時檢測信號電壓和檢測軸輥兩側檢測桿信號電壓的狀態來判斷切割線是否斷線，完成切割線的斷線檢測和硅片多線切割的控制功能。

斷線檢測控制單元對放線信號端子施加信號電壓，通過檢測收線信號端子信號電壓判斷切割線運行否時正常，如果張力區意外斷線，收線信號端子將不會檢測到信號電壓，斷線檢測控制單元指令放線輪停止旋轉并報警。由于切割軸輥上繞制有多圈切割線，斷裂的線頭會交織在一起并隨軸輥的旋轉而纏繞，會檢測不到收線信號端子+5V信號電壓，造成斷線后沒有停機報警。在此況下通過軸輥兩側的檢測桿8來檢測斷線信號。切割區斷線后，斷裂線頭隨軸輥旋轉過程中會搭繞并接觸到檢測桿，會在檢測桿產生+5V信號電壓，此信號將被傳送至斷線檢測控制單元，斷線檢測控制單元會根據檢測桿檢測到的信號電壓判斷多線切割機斷線，指令放線輪停止旋轉并報警。通過張力區斷線檢測和切割區斷線檢測相結合，有效防止斷線在軸輥上纏繞引起的漏檢，使斷線檢測準確、可靠。

本發明硅片多線切割斷線檢測裝置利用放線信號端子、收線信號端子、檢測桿，通過計算機斷線檢測控制單元控制，實現了張力區斷線檢測和切割區斷線檢測相結合和斷線檢測控制計算機化。切割區檢測桿檢測彌補了切割區產生意外斷線時，因線頭交織隨軸輥旋轉引起的張力區斷線檢測不出斷線的缺陷，提高了多線切割斷線檢測的準確性、及時性和可靠性。本發明適用于125×125mm和156×156mm規格太陽能硅片批量切割過程中的斷線檢測和控制。

附圖說明

圖1為斷線檢測控制系統的示意圖；

圖2本發明硅片多線切割斷線檢測的方法的流程圖。

其中：