[發明專利]一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置

有效

• 申請號: 201110288811.2
• 申請日: 2011-09-26
• 公開（公告）號: CN103018213A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 劉永利;張錦龍;程鑫彬;馬彬;焦宏飛;丁濤;韓金;張艷云;王玲;王占山
• 申請（專利權）人: 同濟大學
• 主分類號: G01N21/59
• 分類號: G01N21/59
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 宣慧蘭

技術領域

本發明涉及一種射率測量方法及裝置，尤其是涉及一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置。

背景技術

傳統測量方法在測量在0-70°傾斜入射的寬光譜透射率時，需要依靠起偏器來切換P光(光矢量平行于入射面)和S光(光矢量垂直于入射面)，并要求起偏器為理想起偏器，這一要求是非常苛刻的。但是測試中所用起偏器都是部分起偏器，因此透射率的測量精度隨著入射角的增加迅速增大。起偏器的消光比隨波長而變化，且通常其工作波段較窄，無法滿足寬光譜的透射率測量要求。采用多個高性能的工作在不同波段的起偏器的組合來測量寬光譜透射率的成本又非常高。

發明內容

本發明的目的就是為了克服上述現有技術存在的缺陷而提供一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置，該測量方法及裝置成本低、測量步驟簡單而且測量精度高。

本發明的目的可以通過以下技術方案來實現：

一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)測量基板在入射角為0°時的透射率T_0°；

2)根據1)中測得的透射率T_0°計算基板在入射角為α時的S光和P光透射率的理論值和

3)測量基板在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和

4)計算偏振特性因子p，計算公式為：

p=Tα,Sm-Tα,SmTα,Sc-Tα,Pc]]>

5)用測試樣品替換基板，分別測量測試樣品在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和

6)計算測試樣品S光和P光的透射率T_S和T_P，計算公式為：