[發明專利]一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法及裝置有效
| 申請號: | 201110288811.2 | 申請日: | 2011-09-26 |
| 公開(公告)號: | CN103018213A | 公開(公告)日: | 2013-04-03 |
| 發明(設計)人: | 劉永利;張錦龍;程鑫彬;馬彬;焦宏飛;丁濤;韓金;張艷云;王玲;王占山 | 申請(專利權)人: | 同濟大學 |
| 主分類號: | G01N21/59 | 分類號: | G01N21/59 |
| 代理公司: | 上海科盛知識產權代理有限公司 31225 | 代理人: | 宣慧蘭 |
| 地址: | 200092 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 光學薄膜 70 入射 光譜 透射率 測量方法 裝置 | ||
1.一種光學薄膜0-70°入射的寬光譜透射率測量方法,其特征在于,包括以下步驟:
1)測量基板在入射角為0°時的透射率T0°;
2)根據1)中測得的透射率T0°計算基板在入射角為α時的S光和P光透射率的理論值和
3)測量基板在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和
4)計算偏振特性因子p,計算公式為:
5)用測試樣品替換基板,分別測量測試樣品在入射角為α時的S光和P光透射率的測量值和
6)計算測試樣品S光和P光的透射率TS和TP,計算公式為:
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